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日本島津TMP-203M/MC磁懸浮分子泵采用五軸控制磁性軸承系統，無需使用油潤滑，在運轉過程當中，無任何摩擦，是真正做到完全無油、免維護、***安裝的渦輪分子泵，Shimadzu TMP-203LM/LMC/TMP-203M/MC分子泵抽速可達到190L/s，轉速為50000rpm，對應的控制器為：Shimadzu EI-D203M
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