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概述

nEXT400D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO160和CF160兩種入口法蘭接口，對N₂的抽速為400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術(shù)，上軸承為永久性磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并改進轉(zhuǎn)子設(shè)計，使其更加有效地實現(xiàn)分子拖曳行程，最終提高抽速和壓縮比，同時真正實現(xiàn)了用戶自行維護。它們采用24V到48V直流無傳感器電機，內(nèi)置驅(qū)動，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種最da預(yù)設(shè)功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達到滿轉(zhuǎn)速的加速時間較長。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT400D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。