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干泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1，低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2.半導體刻腐蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到生成腐蝕氣體和研磨微粒；3.除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝。在這些工藝中，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排除泵外，用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；4.化學工業、醫學工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；5.用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
