Spin Processor勻膠旋涂儀
MYCRO公司提供美國原裝進口勻膠旋涂儀,請您放心選購!
MYCRO美國原裝進口的旋涂儀,自1985年開始,我們便為提供化工半導體材料清潔涂敷處理等特殊工藝。公司擁有WS系列各類旋轉涂敷系統,目前客戶已遍布全球。
勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機/旋轉涂層儀、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機 旋涂儀
自1985 年起,我們向遍布全球的生物化工和半導體材料科研領域的實驗室提供表面涂敷工藝的解決方案,目前,全世界有超過12000套系統正在安全運行。
適用旋涂材料的尺寸范圍
WS-650-23 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm 6英寸(150mm)直徑圓片或5x5英寸(125mm)邊長方片
WS-650-8 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm8英寸(200mm)直徑圓片或7x7英寸(175mm)邊長方片
WS-650-15 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm12英寸(300mm)直徑圓片或9x9英寸(225mm)邊長方片
WS-650-X 標配為10 mm 可選配到3mm或5mm可根據用戶特殊要求訂制設備
可選擇三種不同的安裝構造:
的Table Top型可自由放置在實驗臺面上
OND型,帶遠程控制器可用于手套箱等封閉環境
IND型,帶遠程控制器可用于WetStation濕法處理環境
高性能馬達驅動
旋轉控制
Mz型高精度旋涂用馬達
轉速范圍:50~12000RPM (注 50RPM是最小穩定轉速)
加速度:13000RPM/S;
轉速誤差:<±0.5RPM @8000RPM NIST標準認證;
勻膠均勻性:<1% @6 inch Wafer
主營產品:勻膠機,旋涂儀,甩膠臺,勻膠臺,涂層機,涂膠機,涂膜機,旋轉涂敷儀, HPC,PPC, PAC,SCE系列等離子清洗機, Cargille光學試劑,光刻機/曝光機,壓力機, 壓片機, 熱壓機,WABASH熱壓機, CARVER熱壓機,LAURELL勻膠機、HOT PLATE熱板 烤膠機手套箱專用勻膠機程控型旋涂儀
Laurell勻膠機 Harrick等離子清洗機 Diener等離子清洗機
Carver手動壓片機 Uvitron紫外固化箱 Novascan紫外臭氧清洗機
Wenesco/EMS/Unitemp加熱板 Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統,濕站系統 NXQ光刻機
AlphaPlasma等離子系統 Anatech等離子系統
Wabash/Carver自動壓片機 Nanomaster系統
公司名稱:邁可諾技術有限公司
公司網址:
http://www.mycro.com
趙生 18221354817 Email: tchiu@mycroinc.com