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pecvd愛發科 ulvac

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產品價格：￥0（人民幣）

規格： 250*250MM 基板保持架

發貨地：上海

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上海瞻馳光電科技有限公司

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郵編：201619

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商品詳情

應用領域：IC,MEMS,LED
設備用途：用于沉積SiO2、SiNx等介質膜和保護膜。
Batch Type：CX-400/CX-500
Loadlock Type：CC-200C/CC-400
Vacuum Cassette Type：CME-400E

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