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愛發科ULVAC干法去膠機Ashing System

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產品價格：￥0（人民幣）

規格：應用領域：IC，mems，LED，igb

發貨地：上海

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最小起訂量：11

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上海瞻馳光電科技有限公司

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認證類型：企業認證

企業證件：通過認證

認證信息：上海瞻馳光電科技有限公司

商鋪名稱：上海瞻馳光電科技有限公司

聯系人：王曉玉（小姐）

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聯系地址：上海市松江區城隆路629弄3號522室

郵編：201619

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商品詳情

應用領域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device

設備特點：

一體化設計，可對應各種晶圓尺寸＆不同尺寸晶圓混合搬送

對應工藝范圍廣：從下一代有機膜工藝到氧化膜/SiN的刻蝕

利用微波電源，低溫工藝，實現無損傷工藝

維護保養周期長：6個月（實際值）

易于維護和工藝腔清洗時間短（30分鐘）

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