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一、勻膠機(jī)簡介：????

????鈣鈦礦太陽能電池/有機(jī)太陽電池制備涂膜工藝行業(yè)內(nèi)首選Laurell勻膠機(jī)Spin Coater，從1985年開始，30多年行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)者，全球用戶超百萬！廣發(fā)應(yīng)用于鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備，現(xiàn)當(dāng)前風(fēng)靡世界的型號WS-650-23B勻膠機(jī)，在全球任何一個著名的實(shí)驗(yàn)室可找到！洛桑聯(lián)邦理工學(xué)院（EPFL）Michael Gr?tzel教授課題組使用的就是Laurell勻膠機(jī)WS-650-23B。

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應(yīng)用領(lǐng)域：

? 鈣鈦礦太陽能電池Perovskite solar cells

? 有機(jī)光伏OPV

? 有機(jī)發(fā)光二極管OLED

? 有機(jī)場效應(yīng)晶體管&薄膜晶體管OFET & TFT

? 石墨烯&二維材料Graphene &2D

二、勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):??

1、穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動，可保證膠厚度的一致性和均勻性；

2、轉(zhuǎn)速在12000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定，美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過；

3、采用PLC控制，速度無極調(diào)節(jié)，在啟動之后一般工藝先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)使膠攤開，然后自動變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)，步驟轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)；??

4、數(shù)據(jù)模擬：勻膠實(shí)驗(yàn)時將一組設(shè)定的涂膠速度和時長數(shù)值輸入系統(tǒng)，系統(tǒng)會據(jù)此計(jì)算出最佳的速度設(shè)定方案，帶有速度隨時間變化的曲線；

5、數(shù)據(jù)記錄：為了提高實(shí)驗(yàn)的可重復(fù)性，設(shè)備會在數(shù)據(jù)記錄模式下，實(shí)時記錄下前一次工藝過程的實(shí)驗(yàn)實(shí)際值，并將該組數(shù)據(jù)存儲并重復(fù)調(diào)用，達(dá)到近乎完全一致的可重復(fù)性；

6、NPP材質(zhì)耐腐蝕及抗震；

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三、勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：

1、腔體尺寸：9.5英寸?(241 毫米)；

2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm；

3、轉(zhuǎn)動速度：0-12,000rpm；?

4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec（空載）；

5、馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速：穩(wěn)定性能誤差<±1；

6、轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 lt;0.2rpm，重復(fù)性< 0.2rpm；

7、工藝時間設(shè)定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；

8、勻膠機(jī)材質(zhì)：NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性，美觀大方；

9、高精度數(shù)碼控制器：PLC控制，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006；

10、程序控制：可存儲20個程序段，每個程序段可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài)；

11、分辨率：分辨率小于0.5轉(zhuǎn)/分，可重復(fù)性小于±0.5轉(zhuǎn)/分，美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院（NIST）認(rèn)證過的，并且無需再校準(zhǔn)！

12、配套真空泵系統(tǒng)：無油型?220~240伏交流，50/60赫茲；

13、配套分析軟件：SPIN3000操作分析軟件；

14、原裝進(jìn)口水平測試儀；

可選配置：

IND構(gòu)造為濕站系統(tǒng)設(shè)計(jì)，帶遠(yuǎn)程控制；

OND構(gòu)造為手套箱系統(tǒng)設(shè)計(jì)，帶遠(yuǎn)程控制；

UD自動滴膠裝置；

UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒；

EBR晶圓去邊，機(jī)械裝置；

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