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chemraz lf10  PTFE改性專用半導體密封圈涂層，rubber氟膠密封圈，離子刻蝕，干法清洗，先進制程中高要求密封工況，耐溫防粘耐等離子體，避免以下三種問題
1，橡膠老化，密封性下降
2，高溫融化，黏住基體
3，等離子造成橡膠內有機物氣體揮發
涂層厚度：1-2um 
耐       溫： <400℃
耐等離子：性提升5倍
PPB       ： LEVEL
黏  連  力： 降低90%
 整體壽命：提升10倍
25Khz無脫落：>2000h