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真空泵維修 KNF真空泵真空度不高維修檢測，機械泵在1pa以下工作性能很差.為了更好地與擴散泵配合，在機械泵和擴散泵之間可設置增壓泵.增壓泵可以選用羅茨泵和油增壓泵等

真空泵在投入生產使用中，一旦發(fā)生故障，會耽誤工期進展，設備的維護，是每個企業(yè)都十分重視的事情。只是在實際操作中，企業(yè)會使用不同的設備，但它們產生故障的問題基本相同。例如，接下來我們要了解的真空泵出現(xiàn)故障后該怎么解決。

真空泵故障維修分析內容如下：
如果真空泵不能啟動，就相當于一臺計算機，即使按標準操作，仍然不能正常操作，影響工作效率。當這種情況發(fā)生時，如何使設備在較短的時間內繼續(xù)投入正常生產是本文的主題。

在這種情況下，容器中的壓力再也不會降低了 有如此多類型的干式泵可供選擇，而選一個能和您的半導體工藝相匹配的類型是關鍵所在，篇:真空引水幾個要注意的問題2X型旋片式真空泵X型旋片式真空泵XZ型旋片式真空泵WX型無油真空泵XD型旋片式真空泵水環(huán)式真空泵系列BV型水環(huán)式真空泵BE型水環(huán)式真空泵SK型水環(huán)式真空泵SK型直聯(lián)水環(huán)式真空泵SK型水環(huán)式真。 設計中必須采用一定措施才能滿足使用條件，常見的特殊工況及設計處理方法如下，①抽除含有大量水蒸氣的混合氣體，或者類似具有較高蒸氣壓的氣體，如:乙醉，鹵代烴等，抽除這類氣體采用羅茨泵與水環(huán)泵的機組或者是羅茨泵與氣冷直排大氣羅茨泵的機組均可。

真空泵出現(xiàn)故障時，首先檢查設備電源接頭連接是否松動，保險絲是否熔斷;然后檢查設備本身是否有機械故障，如葉輪與泵體之間是否有雜物，這些雜物是否會造成堵塞;泵軸、軸承和減漏設備是否生銹;泵軸彎曲程度等。

轉子偏置在殼體中，炭精葉片與轉子滑槽作精密配合，借彈簧壓力使之緊靠于外殼內壁表面，殼體上部的進氣口與真空缸相連，并由止回閥防止空氣和潤滑油倒流，下部有出油孔通向曲軸箱工作過程和原理是:抽吸作用，由于轉子在殼體中偏置。常用的主泵有低溫泵、鈦泵、濺射離子泵等，可得到極限真空度10-7~10-8Pa 隨泵一起振動，③設備基礎為橡膠支座，設備支撐類型屬于柔性支撐，橡膠支座與泵和電機底盤僅有6個橡膠支座支撐，且接觸形式為點接觸，底盤其余部分與基礎懸空，未與基礎接觸，綜合上述分析，由水環(huán)真空泵振動檢測的結果可知。

真空泵維護保養(yǎng)要點：
1、真空泵停止后，應將真空泵泵及管路中殘留的水排空，并清理外部泥土，以免泵體及水管結冰后膨脹開裂。

2、真空泵底閥、彎頭等鑄鐵件，應先用鋼絲刷刷，然后涂上防銹漆后再噴涂。干燥后應存放在機房或儲藏室通風干燥處。
3、如果皮帶是由皮帶驅動的，皮帶取下后應用溫水清洗，晾干后掛在干燥無陽光直射的地方，不得存放于有油、腐蝕、有煙的地方。皮帶在任何情況下都不能沾上機油、柴油或汽油等油類物質，也不能涂上松香等粘性物質。

4、檢查滾珠軸承。如果內套磨損、松動、球磨或表面有，請更換。對于不需要更換的軸承，用汽油或煤油清洗，潤滑后重新安裝。

在崗位上對操作人員來說,傾聽應該是時時處處，絕不能稀里糊涂，真空泵維修人員判斷故障應掌握哪些知識?
（1）搞清楚設備及所屬零部件的形狀、排列順序和所處的位置；
（2）應熟知零部件的完好標準；
（3）應了解設備的用途,各零部件的作用；
（4）應了解設備各組成部分的材質；
（5）清楚零部件配合的技術要求。hjdgyabchjac

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