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耐高壓型氣體質量流量控制器/流量計

簡要描述：用于對小流量氣體的質量流量進行精密的測量和控制，具有耐高壓，精度高，穩定性好，可選模擬電路或數字電路，可靠性高等特點。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

耐高壓型氣體質量流量控制器/流量計產品介紹：本公司生產的熱式氣體質量流量計/控制器，為精度高、響應快、穩定性好、性價比高的自動測控產品，其流量精度不受氣體壓力、環境溫度的影響，適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。產品系列完整，可選擇數字式、模擬式、普通型、高精度型、耐高壓型，超大流量型，應用領域廣泛，可用于真空及高壓等特殊領域                                                                               

 產品特點：

  耐高壓

精度高

可選模擬電路或數字電路

響應速度快

產品用途：

廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

技術參數

產品型號	LF420-F（模擬型）	LF485-F（數字型）
滿量程范圍	SCCM   0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM    0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比	控制器50:1	流量計100:1
精度	±1.0%F.S
線性	±0.5%F.S
重復性	±0.2%F.S
閥門類型	常閉閥
響應時間	≤1S-3S
工作壓差	0.1...0.5Mpa
最大耐壓	10MPa
工作環境溫度	5...45℃
泄漏率	1×10-8Pa.m3/s
通信信號	0-5V / 4-20MA    / RS232-485 MODBUS協議
供電方式	24VDC（250mA）
密封材料	丁晴橡膠  氟橡膠
接頭尺寸	3mm  6mm  8mm  10mm  1/8” 1/4”  3/8”
電器接頭	DB15針