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半導體真空機械手STCR4160SJEL4軸圓柱坐標潔凈機械手臂
半導體真空機械手STCR4160SJEL4軸圓柱坐標潔凈機械手臂
產品價格:¥\u9762\u8bae(人民幣)
  • 規格:完善
  • 發貨地:上海上海
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1
  • 免費會員
    會員級別:試用會員
    認證類型:企業認證
    企業證件:通過認證

    商鋪名稱:上海衡鵬企業發展有限公司

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    郵編:200233

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    商品詳情
      產品參數
      品牌JEL
      品名真空機械手
      英文名wafer robot
      別名機械臂
      軸數4軸
      產地中國
      加工定制
      機械手臂標準臂長100mm
      130mm
      160mm
      200mm
      晶圓固定方式真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
      使用環境潔凈間內的大氣環境
      手臂雙臂
      到達距離315mm
      升降軸最大行程200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
      可搬運質量3kg
      可售賣地北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
      型號STCR4160S




      4軸圓柱坐標潔凈機械手臂STCR4160S特點:
      超潔凈無塵間用4軸圓柱坐標型潔凈機械手臂STCR4000S系列
      適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運,雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
      機械手臂標準臂長:100mm, 130mm, 160mm, 200mm
      雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
      適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
      配備動作監視器
      控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
      全軸采用2相步進電機
      S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
      晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
      手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
      可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供最優的手指

      4軸圓柱坐標潔凈機械手臂STCR4160S基本參數:
      使用環境 潔凈間內的大氣環境
      手臂 雙臂
      到達距離 315mm (手臂第3關節中心到達距離)
      升降軸最大行程 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
      可搬運質量 3kg (手臂第3關節處基準)


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