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JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SSCR3090S
JEL小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SSCR3090S
產(chǎn)品價(jià)格:¥\u9762\u8bae(人民幣)
  • 規(guī)格:完善
  • 發(fā)貨地:上海上海
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1
  • 免費(fèi)會(huì)員
    會(huì)員級(jí)別:試用會(huì)員
    認(rèn)證類型:企業(yè)認(rèn)證
    企業(yè)證件:通過認(rèn)證

    商鋪名稱:上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

    聯(lián)系人:陳靜靜(小姐)

    聯(lián)系手機(jī):

    固定電話:

    企業(yè)郵箱:lee.li@hapoin.com

    聯(lián)系地址:上海市徐匯區(qū)田州路159號(hào)蓮花大廈3樓B座

    郵編:200233

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    商品詳情
      產(chǎn)品參數(shù)
      品牌JEL
      品名機(jī)械手臂
      軸數(shù)3軸
      英文名wafer robot
      產(chǎn)地中國(guó)
      加工定制
      機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng)90mm
      晶圓固定方式真空吸附式,下托式
      使用環(huán)境潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
      手臂單臂
      到達(dá)距離175mm
      升降軸最大行程150mm
      可搬運(yùn)質(zhì)量0.1kg
      可售賣地北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
      類型圓柱坐標(biāo)型
      型號(hào)SSCR3090S




      JEL SSCR3090S小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn):
      超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SSCR3090S系列
      適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測(cè)設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn),通過優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸,
      有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化
      機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):90mm
      同SSCR2090S-PM兼容,連桿式手臂,可以定制沒有Z軸模塊的機(jī)械手臂
      配備動(dòng)作監(jiān)視器
      控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
      全軸使用2相步進(jìn)電機(jī)
      S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
      晶圓固定方式:真空吸附式,下托式
      手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
      可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類,設(shè)備布局等要求提供最優(yōu)的手指


      小徑晶圓用3軸圓柱坐標(biāo)型潔凈機(jī)械手臂SSCR3090S基本參數(shù):
      使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
      手臂 單臂
      到達(dá)距離 175mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
      升降軸最大行程 150mm
      可搬運(yùn)質(zhì)量 0.1kg (只包含被搬運(yùn)物體)(手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))


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