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該方法具有適用范圍廣，處理效率高，極少有二次污染，氧化速率快，可回收能量和有用物料等特點。在日本和美國，此類方法己有工程應用，屬于前沿技術，發展前景廣闊。但是此法也存在問題，那就是濕式氧化一般要求在高溫高壓的條件下進行，其中間產物往往為有機酸，對設備材料要求很高，處理催化劑昂貴，并只適于小流量高濃度的廢水。濕式氧化法包括兩種類型：次臨界水氧化和超臨界水氧化。超臨界水氧化技術，是指水在超臨界條件下氧化處理有機污染物的一種新興、的廢物處理技術。
