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BD-86A型半導體電阻率測試儀BD-86A型

BD-86A型半導體電阻率測試儀

    BD-86A型半導體電阻率測試儀是我廠推出的最新的普及型半導體電阻率測試儀器，本儀器是根據四探針原理，適合半導體器材廠，材料廠用于測量半導體材料（片狀、棒狀）的體電阻率，方塊電阻（簿層電阻），也可以用作測量金屬薄層電阻，經過對用戶、半導體廠測試的調查，根據美國ASTM標準的規定，在電路和探頭方面作了重大的修改和技術上的許多突破，它更適合于半導體器材廠工藝檢測方面對中值、高阻硅、鍺材料方塊電阻和體電阻率的測量需要，成為普及型的電阻率測試儀，具有測量精度高，穩定性好，輸入阻抗高，使用方便、價格低廉等特點。

儀器主要技術指標：

　　1．  測量范圍：電阻率10-3—103Ω-cm，分辯率為 10-4Ω-cm ，可擴展到105Ω-cm

　　　　方塊電阻10-2—104Ω/□，分辯率為10-3Ω/□，可擴展到106Ω/□

　　　　薄層金屬電阻10-4—105Ω，分辯率為10-4Ω

　　2．  可測半導體材料尺寸：直徑Φ15—Φ125mm；  長度：150mm(可擴展500mm)

　　3．  測量方式：軸向、斷面均可

　　4．  數字電壓表：（1）量程：20mV(分辯率：10μV)、200mV、2V

　　　　（2）測量誤差：±0.3%讀數±1字

　　　　（3）輸入阻抗：大于108Ω

　　　　（4）顯示3 1/2 位紅色發光二極管（LED）數字顯示

　　　　　0---1999具有極性、過載、小數點、單位自動顯示

　　5．  恒流源：由交流供電，具有良好的防泄漏隔離功能

　　　　（1）直流電流：0—100mA連續可調

　　　　（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

　　　　（3）分辯率：10nA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

　　　　（4）電流誤差：±0.3%讀數±2字

　　6．  電性能模擬考核誤差：<±0.3%符合ASTM指標

　　7．  測試探頭：（1）探針機械游移率：± 0.3% 符合ASTM 指標

　　8．  電源：交流220V±10%   50HZ或60HZ  功率消耗< 30W

　　9．  電氣箱外形尺寸：119×440×320mm