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法國阿爾卡特ALCATEL真空泵油 A120 A119 A200 A113
規格 1L 5L 20L
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英國愛德華BOCEDWARDS真空泵專用油 UL15 UL19 UL70 UL20
規格 1L 4L 20L
德國萊寶LEYBOLD真空泵專用油 N62 GS77 GS32 N62H LVO100 LVO130 LVO110 VLO120 LVO210 LVO240 LVO260
規格1L 5L 20L
德國普旭BUSCH真空泵專用油 VM100 300SD VM32 VM68
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德國里其樂/偉力RIETSCHLE真空泵專用油 MULTI-LUBE100 MULTI-LUBE46
合成油 SUPER-LUBE100
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愛發科ULVAC真空泵油 ULVoilR-7 ULVoilR-4 SMR-100
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法國阿爾卡特ALCATEL真空泵油 A120 A119 A200
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貝克BECKER真空泵油 F O-100 LUBE-M100
規格 1L 5L 20L
半導體工業在硅片加工過程中，必須使用真空泵。真空泵油通常有兩種： 碳氫化合物油(Hydrocarbon)與全氟聚醚油(PFPE)。碳氫化合物油極易燃燒，化學結構不穩定，容易降解，使得潤滑性能容易降低，從而導致真空泵出現故障。尤其因頻繁地更換真空泵油，包括停機維修時間的增加，而影響生產效率。而且，碳氫化合物油的可燃性也導致安全隱患，頻繁更換真空泵油，存在大量的廢棄物，對于環保方面是非常不利的。總之，許多方面均會導致運行成本的上升。
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