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電子制造業廠潔凈室廠房特點:
潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間（特殊潔凈車間有相關溫濕度規定）。 這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
●電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級（空態）：不應大于65dB(A)
●電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流  潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。
●電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
● 電子制造行業萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的值：
● 補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
 電子制造行業潔凈室凈化空調系統加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區，新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量，應取下面三項：
●保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量：
●根據熱，濕負荷計算確定電子廠潔凈室的送風量：
●向電子制造廠潔凈室內供給的新鮮空氣量：

隨著電子信息產業技術的發展，許多電子產品性能、質量的提高和生產過程的微細化，越來越要求生產環境具有一定的空氣潔凈度和環境的控制。目前國內還沒有統一的電子產品的空氣潔凈度等級或生產環境控制要求的統一規定，所以一般是依據《潔凈廠房設計規范》（GB50073-2001）以及電子產品的生產廠家實際經驗等來確定電子廠房的潔凈度等級和溫濕度的要求。       

在無塵車間潔凈工程的設計過程中，應根據該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結合其具體的生產工藝、生產流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據該工程的具體情況，同時還要考慮到生產廠家的經濟承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設計出一個能滿足甲方生產使用要求、工程造價合理、經濟節能實用的方案。   

無塵車間的潔凈度      

（個案）LCD制屏的簡略流程為：

清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。在本設計里是指末端工藝的一些無塵車間，其凈化潔凈度一般為千級或萬級或十萬級。背光屏類無塵車間主要是這類產品的沖壓車間、組裝等無塵車間，其潔凈度一般為萬級或十萬級。       

室內空氣參數要求       

◆溫濕度要求：溫度一般為24+2℃，相對濕度為55+5％。       

◆新風量大。由于這類車間內，人員比較多，可以根據以下數值應取下列的值：非單向流潔凈室總送風量的10-30％；補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量；保證室內每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。       

◆送風量大。為了滿足無塵車間內的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量（換氣次數，是≥25次/h）；如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量（換氣次數，是≥15次/h）。

潔凈廠房設計必須貫徹執行國家的有關方針政策，做到技術先進、經濟合理、安全適用、確保質量、符合節約能源和環境保護的要求。 

本規范適用于新建和改建、擴建的潔凈廠房設計，但不適用于以細菌為控制對象的生物潔凈室。本規范有關防火和疏散、消防設施章節的規定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設計。 在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，潔凈廠房設計必須根據生產工藝要求，因地制宜、區別對待，充分利用已有的技術設施。潔凈廠房設計應為施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行創造必要的條件。潔凈廠房設計除應按本規范執行外，尚應符合現行的國家標準、規范的有關要求。

潔凈室：

潔凈區空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子�？臻g內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。

◆移動式潔凈小室可整體移動位置的小型潔凈室。有剛性或薄膜圍檔兩類。

◆人身凈化用室人員在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。

◆物料凈化用室物料在進入潔凈區之前按一定程序進行凈化的房間。

◆粒徑由給定的粒子尺寸測定儀響應當量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數、光散射儀器采用當量光學直徑。 

◆懸浮粒子用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1～5μm的固體和液體粒子。

◆超微粒子具有當量直徑小于0.1μm的粒子。

◆微粒子具有當量直徑大于5μm的粒子。 

◆粒徑分布粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數。 2.0.11 含塵濃度單位體積空氣中懸浮粒子的顆數。 

◆潔凈度以單位體積空氣某粒徑粒子的數量來區分的潔凈程度。 ◆氣流流型 air pattern  對室內空氣的流動形態和分布進行合理設計。

◆單向流沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風速一致的氣流。 ◆◆垂直單向流與水平面垂直的單向流。

◆水平單向流與水平面平行的單向流。 

◆非單向流凡不符合單向流定義的氣流。

◆混合流單向流和非單向流組合的氣流。

◆潔凈工作區指潔凈室內離地面高度0.8～1.5m（除工藝特殊要求外）的區域。

◆空氣吹淋室利用高速潔凈氣流吹落并清除進入潔凈室人員表面附著粒子的小室。

◆氣閘室設置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設置的緩沖間。

◆傳遞窗在潔凈室隔墻上設置的傳遞物料和工器具的開口。兩側裝有不能同時開啟的窗扇。

◆潔凈工作臺能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺。 

◆潔凈工作服為把工作人員產生的粒子限制在最小程度所使用的發塵量少的潔凈服裝。

◆空態設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員。 

◆靜態設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業主及供應商同意的狀態運行，但無生產人員。

◆動態設施以規定的狀態運行，有規定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。

◆檢漏試驗檢查空氣過濾器及與安裝框架連接部位等的密封性試驗。 

◆高效空氣過濾器在額定風量下，對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

◆超高效空氣過濾器 ULPA（ultra low penetration airfilter）  在額定風量下，對粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。 

◆純水對電解質雜質含量（常以電阻率表征）和非電解質雜質（如微粒、有機物、細菌和溶解氣體等）含量均有要求的水。 

◆防靜電環境能防止靜電危害的特定環境，在這一環境中不易產生靜電，靜電產生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。 

◆表面電阻在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩態電流之商。

◆體積電阻在材料的相對兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩態電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。 

◆率在材料表面層的直流電場強度與穩態電流線密度之商。

◆體積電阻率在材料內層的直流電場強度與穩態電流密度之商。其量綱為Ω·cm。 

◆專用消防口消防人員為滅火而進入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。

◆自凈時間潔凈室被污染后，凈化空調系統開始運行至恢復到穩定的規定室內潔凈度等級的時間。

◆生物潔凈室潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規定值內的限定空間。

 2.0.40 浮游菌潔凈室懸浮在空氣中的菌落。

◆沉降菌潔凈室降落在培養皿上的菌落。

潔凈廠房位置選擇和總平面布置：

潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求并經技術經濟方案比較后確定:  ◆應在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環境較好的區域。 

◆應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等，有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區域。如不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于頻率風向上風側，或全年最小頻率風向下風側。 

◆應布置在廠區內環境清潔、人流、物流不穿越或少穿越的地段。 

◆對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現有振源的振動影響，并應與精密設備、精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定。

◆潔凈廠房與交通干道之間的距離宜大于50m。 

◆潔凈廠房周圍宜設置環形消防車道（可利用交通道路），如有困難，可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。 

◆潔凈廠房周圍的道路面層，應選用整體性能好、發塵少的材料。 

◆潔凈廠房周圍應進行綠化�？射佒膊萜海�不應種植對生產有害的植物，并不得妨礙消防作業。

工藝平面布置應符合下列要求:

◆工藝平面布置應合理、緊湊。潔凈室或潔凈區內只布置必要的工藝設備，以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。 

◆在滿足生產工藝和噪聲要求的前提下，空氣潔凈度等級高的潔凈室或潔凈區宜靠近空氣調節機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。 

◆潔凈室內要求空氣潔凈度等級高的工序應布置在上風側，易產生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置。 

◆應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口。 

◆不同空氣潔凈度等級房間之間聯系頻繁時，宜設有防止污染的措施，如緩沖間、氣閘室、傳遞窗等。 

◆應設置單獨的物料入口，物料傳遞路線應最短，物料進入潔凈區之前必須進行清潔處理。

潔凈廠房的平面和空間設計，應滿足生產工藝和空氣潔凈度等級要求。潔凈區、人員凈化、物料凈化和其它輔助用房應分區布置。同時應考慮生產操作、工藝設備安裝和維修、管線布置、氣流流型以及凈化空調系統各種技術設施的綜合協調。

潔凈廠房內應少設隔間，但在下列情況下應予分隔: 

◆按生產的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產區段之間，或有防火分隔要求者。 

◆生產聯系少，并經常不同時使用的兩個生產區段之間。 

◆在滿足生產工藝和空氣潔凈度等級要求的條件下，潔凈廠房內各種固定技術設施（如送風口、照明器、回風口、各種管線等）的布置，應優先考慮凈化空調系統的要求。

潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。

◆潔凈室內墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求: 

◆潔凈室內墻壁和頂棚的表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于除塵，并應減少凹凸面。

◆潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面，當必須采用時宜干燥作業，抹灰應采用高級抹灰標準。墻面抹灰后應刷涂料面層，并應選用難燃、不開裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水變質發霉的涂料。

潔凈室地面設計應符合下列要求: 

◆潔凈室地面應滿足生產工藝要求。 

◆潔凈室地面應平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等。

◆地面墊層宜配筋，潮濕地區墊層應做防潮構造。 

◆5.3.4 潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚表面應平整、光滑，位于地下的技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。 

潔凈室（區）外窗設計應符合下列要求:

◆當潔凈室（區）和人員凈化用室設置外窗時，應采用雙層玻璃固定窗，并應有良好的氣密性。

◆靠潔凈室室內一側窗不宜設窗臺。 

潔凈室內的密閉門應朝空氣潔凈度較高的房間開啟，并加設閉門器，無窗潔凈室的密閉門上宜設觀察窗。 

潔凈室門窗、墻壁、頂棚等的設計應符合下列要求:  

◆潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構造和施工縫隙，均應采取可靠的密閉措施。

◆當采用輕質構造頂棚做技術夾層時，夾層內宜設檢修通道。

◆潔凈室窗宜與內墻面齊平，不宜設窗臺。 

◆潔凈室內的色彩宜淡雅柔和。室內各表面材料的光反射系數:頂棚和墻面宜為0.6～0.8，地面宜為0.15～0.35。 

◆對8級以上的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。

◆設計選用的裝修材料的燃燒性能必須符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》（GB 50222）的規定

空氣凈化：

空氣過濾器的選用、布置和安裝方式應符合下列要求:

◆空氣凈化處理應根據空氣潔凈度等級合理選用空氣過濾器。

◆空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量。 

◆中效（高中效）空氣過濾器宜集中設置在空調系統的正壓段。 

◆亞高效和高效過濾器作為末端過濾器時宜設置在凈化空調系統的末端；超高效過濾器必須設置在凈化空調系統的末端。 

◆設置在同一潔凈區內的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率宜相近。 

◆高效（亞高效、超高效）空氣過濾器安裝前應進行檢漏，安裝應嚴密，安裝方式應簡便、可靠，易于檢漏和更換。 

◆對較大型的潔凈廠房的凈化空調系統的新風宜集中進行空氣凈化處理。

◆凈化空調系統設計應合理利用回風。

◆凈化空調系統的風機宜采取變頻措施。  

◆凈化空調系統的電加熱器、電加濕器應采取安全保護措施。寒冷地區的新風系統應設置防凍保護措施

空氣凈化一般規定：

潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級應滿足生產工藝對生產環境的潔凈要求。

◆根據空氣潔凈度等級的不同要求，選用不同的氣流流型。

下列情況之一者，其凈化空調系統宜分開設置: 

◆運行班次或使用時間不同。 

◆生產工藝中某工序散發的物質或氣體對其它工序的產品質量有影響。

◆對溫、濕度控制要求差別大。

◆凈化空調系統與一般空調系統

潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的值:

◆補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和。

◆保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。 

潔凈區的清掃:一般情況下宜采用移動式高效真空吸塵器；對于1級到5級的單向流潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統。潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷，吸塵口應加蓋封堵。

潔凈室壓差控制：

潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的值:

◆補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和。

◆保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

潔凈區的清掃:一般情況下宜采用移動式高效真空吸塵器；對于1級到5級的單向流潔凈室宜設置集中式真空吸塵系統。潔凈室內的吸塵系統管道應暗敷，吸塵口應加蓋封堵。

廣州市正一凈化科技有限公司：

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