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日本愛發(fā)科ULVAC干法刻蝕機(jī)Dry Etching

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產(chǎn)品價格：￥0（人民幣）

規(guī)格：ＮＥ

發(fā)貨地：上海

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上海瞻馳光電科技有限公司

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聯(lián)系人：王曉玉（小姐）

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郵編：201619

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商品詳情

應(yīng)用領(lǐng)域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device，LTCC

設(shè)備特點：

1、能夠生成均一性非常好的低壓力、高密度plasma

-搭載ISM（有磁場ICP）Plasma源。ULVAC專利。

2、為了保證再現(xiàn)性、穩(wěn)定性使用了key技術(shù)

-STAR電極。ULVAC專利。

3、優(yōu)秀的基板溫度控制

-并用了He導(dǎo)入的ESC式、machine　zipper式基板固定。

4、簡單且快速的維護(hù)-減輕了維護(hù)負(fù)荷的維護(hù)機(jī)構(gòu)。

5、生產(chǎn)性、處理性能向上-300mm托盤，7層Cassette裝備。

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