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                             凈化工程概述復合式空氣流

不論外在空氣前提如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能。這既是凈化工程所特別設計的房間�？刂飘a品(如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使有限產品能在一個良好之環(huán)境空間中出產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。

復合式空氣流：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠蓋使?jié)崈舳鹊燃夁M步至10級以上，可節(jié)省安裝運轉用度。此型式需將功課職員之 工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易； B.維修設備時可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。(2)潔凈管道：將產品流程經由的自動出產線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和工作人員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量送風即可得到良好潔凈度，可節(jié)省能源。藥品、食物業(yè)界及半導體業(yè)界均合用。(3)并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認為出產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

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