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MicroTool EL-3003 電子水準(zhǔn)儀晶圓 EL-1503 EL-5003
品牌：MicroTool
類別：電子水準(zhǔn)儀晶圓
型號：EL-Series

公司簡介：
MicroTool的產(chǎn)品通過改進(jìn)關(guān)鍵的晶圓處理操作來提高硅產(chǎn)量和設(shè)備正常運(yùn)行時間。
我們花了數(shù)年時間開發(fā)用于測量和分析機(jī)器人、裝載口和其他工廠自動化的設(shè)備。
這些系統(tǒng)將“對齊藝術(shù)”轉(zhuǎn)化為可重復(fù)和可測量的科學(xué)。

產(chǎn)品簡介：
在不損壞硅片的情況下設(shè)置和循環(huán)測試您的設(shè)備。
這種高科技碳纖維復(fù)合材料晶片幾乎堅(jiān)不可摧，按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)直徑、平整度和凹口規(guī)格制造。
碳纖維虛擬晶片也被設(shè)計(jì)為模仿硅片的重量和結(jié)構(gòu)特性。

提供125、150、200、300和450mm SEMI兼容直徑。
還可以定制印刷圖案和機(jī)加工幾何形狀。
碳纖維材料的重量接近硅片的重量。
晶圓周長和凹口與預(yù)對準(zhǔn)器兼容。
碳纖維材料幾乎堅(jiān)不可摧。
與真空和邊緣抓握末端執(zhí)行器兼容。

產(chǎn)品介紹：
很快就會成為您工具箱中使用最多的項(xiàng)目！保留所有你的
設(shè)備與布魯克斯的電子水平晶片“在水平面上”。
與硅片的重量相匹配，這款多功能工具
該設(shè)計(jì)允許在末端執(zhí)行器和晶片處理刀片上使用
以及晶片盒和石英舟。簡單到
使用顯示器，您可以向地面或您自己的用戶水平
定義的參考平面。直觀的圖形和觸摸屏
簡化操作，同時遠(yuǎn)程實(shí)時顯示
便于遠(yuǎn)程調(diào)整。

Features:  
> 2-Axis electronic level for leveling to 
ground or to a learned reference 
> Numerical readout for both pitch and 
roll allows for statistical analysis and 
calibration to specification  
> Intuitive graphics screens and touch 
screen LCD simplify operation 
> Adjustments can be made 
conveniently using the remote real
time display 
> Carbon fiber wafer mimics the 
geometry and weight of a silicon wafer 
> New high resolution, high accuracy 
electronic level 
> New low profile – fits through more slit 
valves 
> Fast settling time 
> Improved software with user setup 
capabilities 
> Settable tolerances w/ graphical 
pass/fail indication 
> Data logging allows dynamic studies 
and facilitates monitoring equipment 
over time

其它相關(guān)型號：
MicroTool EL-1503   Form Factor：150mm
MicroTool EL-2003   Form Factor：200mm
MicroTool EL-3003   Form Factor：300mm
MicroTool EL-4503   Form Factor：450mm
MicroTool EL-5003   Form Factor：1” X 3” X 3” Block 
MicroTool EL-5003-Reticle    Form Factor：Reticle 
MicroTool LP-3004  300mm Load Port Checker With AMHS Compatibility 
MicroTool FG-3000  Loadport Force Gage