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代理德國蘇斯微SUSS MicroTec噴墨打印機、涂膠機與顯影機、光刻機、貼片機、俺膜機

詳詢請致電：吳工 132，4667.5433

ACS200 Gen3 TE涂膠顯影機：最大化產能的全自動平臺
SUSS ACS200 Gen3 TE平臺將ACS200 Gen3這款非常成功且市場熟知的產品提升到了一個新的高度。不僅在產能上有了顯巨提高，在操作和維護上也更加舒適。SUSS ACS200 Gen3 TE能夠提供非常靈活的模塊和技術配置，以滿足先進封裝、MEMS、LED和其他市場的要求，并為研發和HVM提供服務。
介紹：
基礎框架經過重新設計，可配置多達6個旋轉工藝模塊，并可在這些模塊上方配置冷熱板組。此外，動態對中（IMOC）功能的引入，即晶圓傳送時的“動態”定心，進一步提高了整體產能。為了滿足最新的ESD標準，并為操作員和技術人員提供更高的舒適度，該平臺已經進行更新。第二屏幕可根據個人需要進行配置，可以用來顯示攝像頭以及設備/模塊的狀態，并且可以處理測量數據。外圍配套設備也得到了顯著改進，特別是新推出的Flexi Media Cabinet，整潔、標準化程度高。由于采用PiXDRO技術的SUSS JETx噴墨模塊已完全集成到該平臺中，使得該平臺支持下一代材料沉積技術，且仍具有添加其他模塊的能力。同時，已經引入了標準制造接口（SMIF）加載端口。此外，流量控制器系統為有機溶劑和顯影工藝應用提供了非常出色的噴液精度。
ACS200 Gen3 TE平臺將繼續提供的敞開式腔體涂布和SUSS專有的GYRSET?閉蓋式涂布技術。廣為接受的腔體設計將保持不變，因此能夠實現將工藝從之前的平臺到現在的輕松轉移。
亮點：
多達6個旋轉工藝模塊
采用動態對中(IMOC)提高晶圓傳送效率
超高的配置靈活性
可實現自動化系統的噴墨技術
操作舒適性高
標準制造接口(SMIF)負載端口
詳細情況 : 顯影工藝
浸置式顯影
噴霧顯影
在此工藝中，一定量的顯影劑被滴在曝光后的襯底上，并通過適度的旋轉分散開。 顯影液因其表面張力在晶圓上形成凸狀的液面（“Puddle”）。 當顯影時間結束后，通過提高旋轉速度甩干晶圓上的顯影液。 然后，用去離子水沖洗晶圓并同樣提高轉速甩干。 這種方法的優點是，只需使用少量顯影液，就能提供優異的顯影結果。浸置式顯影法不得用于顯影液達到飽和時，例如當必須除去大量顯的光刻膠時或者凹凸圖形阻礙了更換顯影液時。 在這些情況下，需多步使用浸置式顯影或者使用噴涂式顯影 。

德國SUSS MicroTec主要產品：
一、旋轉涂膠機和噴霧涂膠機：
自動涂膠機與顯影機：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自動涂膠與顯影機：RCD8、ECD8
手動涂膠機與顯影機：LabSpin6 / LabSpin8
二、噴墨打印機
JETxSM24噴墨打印機、JETx噴墨打印機、LP50打印機
三、光刻機、掩模對準機
全自動：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自動：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手動：MJB4
四、測量系統
全自動:DSM8/200 Gen2
五、晶圓結合系統、自動貼片機
全自動：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自動： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模設備
全自動：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自動：HMx Serie
七、投影掃描光刻機
全自動：DSC300 Gen3

韓國AUTOFLOW：
一、氣體流量計
AMF-4003、AMF-4008
AMF-5003、AMF-5006、AMF-5008、AMF-5012、AMF-5019
AMF-6012、AMF-6019
二、質量流量計   AVA-420
三、超聲波流量計
AUDS系列：
AUDS-100P-1/AUDS-100P-2
AUDS-100H/AUDS-100M/AUDS-100Y
四、熱式質量流量傳感器：VA 420
五、渦街流量計： AVT2000    AVT4000   AVT5000
六、渦輪流量計:Vision 1000  Vision 2000

韓國SAMWOO
一、壓力測量
壓力變送器：APT-3100、APT-3200、7MF 4333、7MF 4633、7MF 4533、7MF 4433、7MF 4233、7MF 4033
2600T系列壓力變送器
264DS型差速器
264PS型壓力表
264VS絕對型
型號：264DS、264GS、264HS、264AS
壓力開關：P990、P970、P961,P962,P963,P964,P965、P953、P940、P930、P920、P912,P913,P914、P910,P911
超高純度壓力表：PT840、P840-1、P840、P830、P820、P810
衛生級壓力表：P757、P750
高溫壓力表：P740
隔膜密封型壓力表：  P730、P720、P710
指示差壓表：P651,P652,P653,P654,P655、P641,P642,P643,P644,P645
電接點差壓表：P621,622,623,624,625、P620,630
SF6氣體密度監測儀：P590
鍍鉻鋅殼電接點壓力表：P542,P543
壓力指示開關：P535、P536
鋼殼電接點壓力表：P531,532,533,534,537,539
電動壓力表：P520、P510、P500
低壓表：P440、P430、P428、P429、P421、P410、P420、P359、P339
工業壓力表：P330
充液壓力表：P259、P258、P257、P253、P252、P229, P335、P222、P221、P253
接收儀：P228
重型使用壓力表：P163
通用壓力表：P140、P110
測試壓力表：P119
氟利昂氣體服務壓力表:P112
氨用壓力表:P111

【二】溫度測量
帶焊接連接的棒材熱套管：A630、A631、A632
帶法蘭連接的棒材熱電偶套管：A610、A611、A612
帶螺紋連接的棒材熱套管：A600、A601、A602
管式熱電偶套管：A500、A510
電阻式溫度檢測器：R221、R222
鎧裝熱電偶：R121,R122
滑石保護管熱電偶：R111/R112
溫度發射機：ATT-2200、ATT-2100
顯示器：7NG3132、7NG3120頭戴式、TTR200、
溫度變送器：TTH200、TTH300、TTF300、
溫度計：T751,T752,T753,T754
溫度開關：T990、T953
防雨溫度開關：T941,942
指示溫度開關：T931,932
電接點遠讀溫度計：T761,762,763,764
帶鋁殼和電觸點的直讀溫度計：T721,722,723,724
鋁殼電接點遠讀溫度計：T711,712,713,714
電接點溫度計：T521,522,523,524,525
感應式接觸式溫度計：T501,502,503,504,505
玻璃溫度計：T400
安全型直讀溫度計：T359、T259、T250
帶可調桿的直讀溫度計：T290
重型服務遠程讀取溫度計：T263
無油遠程讀數溫度計：T239、T230、T219
無油直讀溫度計：T229、T220
鋁殼直讀溫度計：T222
鋁殼遠讀溫度計：T212、T210
密封外殼溫度計：T191
溫度計：T190、T120、T114、T112、T111、T110
溫度記錄儀：T930、T920
溫度變送器：MTM

【三】液位測量
液位開關；MWBS-TR-01、MWBS-RC-01、
液位開關電極類型：HE系列
液位開關：HQ-6636系列
液位開關槳葉式：HLV-300系列
振動型液位開關：HNV-970、HTM-230, HTM-430
液位開關HR/F型：HCC-96RF-R
LEVEL SWITCH電容式：HPC-509N、HCC-75P系列
液位開關磁浮式：HM-12S
液位開關磁浮式：HR-30S
液位開關浮子式：HM-90SE、HM-95系列
液位開關置換器類型：HM-90
二色式量規：L500、L510
管狀壓力表：L400
磁性浮子式液位計：L300
透明式液位計：L200
照明器：L150、L250
加熱/之字形液位計：L130、L230
無霜型液位計：L120、L220
大室式液位計：L110、L210
反射式液位計：L100

韓國ULFA
ADT系列差壓儀表
AIT 差壓儀表
PATM差壓儀表
PMI 差壓變送器和開關
USP 差壓變送器
PAT 差壓變送器
TML數字溫度計

韓國DAEKWANG
溫度傳感器：
TS0001、TS0002、TS0003、TS0004、TS0005、TS0006、TS0007、TS0008、TS0009、TS00010、TS00011、TS00012、TS00013、TS00014、TS00015、TS00016、TS00017、TS00018、TS00019、TS00020、TS00021、TS00022、TS00023、TS00024、TS00025、TS00026、TS00027、TS00028、TS00029、TS00030、TS00031、TS00032、RS0001、RS0002、RS0003、RS0004