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廣綠低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種技術，就是工業廢氣處理“”的一種原理。
一般在常壓下進行氣體污染物的管理，而能在常壓下產生的等離子體只有電暈放電和介質陰擋放電兩種形式。跟據氣體系能量狀態，溫度和離子密度，等離子體通常可分為高溫等離子體和低溫等離子體（包括熱等離子體和冷等離子體），其中低溫等離子體的電離度接近1，各種粒子的溫度幾呼相同，并且體系處于熱力學平衡狀態，它主要應用在受控熱核反應方面的研究。而這種技術，就是工業廢氣處理“”的一種原理。也就是說等離子廢氣處理就是處于電離狀態下的氣體，等離子體由大量的電子、離子、中性原子、激發態原子、光子和自由基等組成。汽車部件廠煙氣異味處理方法
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