.jpg "納米級(jí)表面測(cè)量臺(tái)階儀探針接觸式表面輪廓測(cè)量")
商鋪名稱：深圳市中圖儀器股份有限公司
聯(lián)系人：羅建（先生）
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聯(lián)系地址：深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號(hào)南山智園B1棟2樓
郵編：518071
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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| 外形尺寸 | 630610500mm | ||
| 重量 | 40kg | ||
| 型號(hào) | NS200 | ||
| 單次掃描長(zhǎng)度 | 55mm | ||
| 最大樣品厚度 | 50mm | ||
| 載物臺(tái)可裝載最大晶圓尺寸 | 200mm（8吋） | ||
| 最大掃描采樣點(diǎn)數(shù) | 120000 | ||
| 探針傳感器 | 超低慣量，LVDC傳感器 | ||
| 測(cè)量力 | 1-50mg可調(diào) | ||
| XY移動(dòng) | 150mm×150mm | ||
| 真空吸盤(pán) | 標(biāo)準(zhǔn)配置6英寸真空吸盤(pán) | ||
| 相對(duì)濕度 | 濕度 （無(wú)凝結(jié)）30-40％ RH | ||
| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
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