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OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵TGkine2200M-R
OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵TGkine2200M-R
產品價格:¥22.22(人民幣)
  • 規格:完善
  • 發貨地:上海市閔行區
  • 品牌:
  • 最小起訂量:1
  • 誠信商家
    會員級別:鉆石會員
    認證類型:企業認證
    企業證件:通過認證

    商鋪名稱:上海盈熾商貿有限公司

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    商品詳情
      產品參數
      品牌OSAKA
      吸氣口法蘭ISO-B250 / VG250
      排氣口法蘭KF40 / KF50
      排氣速度N2 (L/s)2200
      起動時間≦10min
      排氣速度H2 (L/s)1800
      zui大壓縮比N22×108
      zui大壓縮比H23×103
      安裝方向任意
      可售賣地北京;天津;河北;山西;內蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆
      型號TGkine2200M-R

      OSAKA大阪真空

      TGkine-R系列磁懸浮復合分子泵

      具備了磁懸浮復合分子泵(控制器?電源一體型)TGkine-B系列穩定的產品性能及廣受好評的特性,本系列更搭載了將工作數據、軸承使用次數等記憶在泵本體中的存儲功能,即使在維修期間更換控制器,也能夠傳輸數據。

      產品特點:

      省電設計??????
      在真空泵本體中,可存儲設置參數,運轉數據及異常歷史等。?
       
      ※即使在維護階段更換控制器,也可實現全數據轉移。??????
      支持多種通信接口規格 (兼容EtherCAT通信協定)??????
      適用于國際規格 CE/NRTL/SEMI-S2
      產品應用:半導體制造設備
      FPD制造設備
      太陽能電池制造設備
      玻璃/鏡片等光學部件加工
      鍍膜工藝
      加速器/宇宙環境模擬器
      技術參數:


      型號※1TGkine2200M-R
      吸氣口法蘭ISO-B250 / VG250
      排氣口法蘭※2KF40 / KF50
      排氣速度N2?(L/s)2200
      N2

      (付帶金屬保護網)?(L/s)
      2100
      H2?(L/s)1800
      zui大壓縮比N2>2×108
      H23×103
      zui大氣體流量※3、※4N2?(sccm)7000
      Ar?(sccm)3000
      起動時間(min)≦10
      停止時間(min)≦10
      到達壓力※5(Pa)<2×10-7
      (Torr)<1.5×10-9
      zui大排氣口壓力※6(Pa)220
      (Torr)1.65
      推薦前級泵(L/min)≧2000
      安裝方向任意
      質量(kg)59

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  • 0571-87774297  
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