商鋪名稱：上海鑫有研電子科技有限公司
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郵編：200090
聯系我時，請說是在線纜網上看到的，謝謝！
| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 高分辨率、高精度手動紫外光刻機URE-2000/25L URE-2000/25 品牌 | 鑫有研 | ||
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高精度紫外光刻機
型號：URE-2000/25 URE-2000/25L
主要技術指標：
曝光面積：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（膠厚1.5μm的正膠）
對準精度：±0.8μm
最大膠厚：300μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
照明均勻性：±4（Ф100mm 范圍）
汞燈功率：200W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技術特點：
球氣浮實現高精度調平；超精密手輪對準調節，單片機控制,觸摸開關操作；整機精度高、性能可靠
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