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在溫度大于零的所有氣體中，均存在一定的電離現象。任何細微的射線及其他能量都可能使氣體中的分子被加速而獲取能量，當其能量高于氣體的電離能時，電子與分子間的碰撞將導致該氣體的電離。

離子凈化技術正是基于這種理論進行研發的。在電場作用下，離子發生器產生大量的α粒子，α粒子與空氣中的氧分子進行碰撞而形成正、負氧離子。正氧離子具有很強的氧化性，能在較短的時間內氧化、分解甲硫醇、氨、硫化氫等污染因子，且在與VOC(揮發性有機化合物)分子相接觸后打開有機揮發性氣體的化學鍵，經過一系列的反應，生成二氧化碳和水等穩定無害的小分子。同時，氧離子能破壞空氣中細菌的生存環境，降低室內空間細菌濃度，帶電離子可以吸附大于自身重量幾十倍的懸浮顆粒，靠自重沉降下來，從而清除空中懸浮膠體，達到凈化空氣的目的。

等離子法廢氣處理系統成主要由主反應器，光觸媒反應導入裝置等組成。廢氣經過收集系統收集后進入離子催化氧化廢氣處理合成系統，離子反應導入裝置對主反應器產生離子，在其內部的價電子被激發跨過禁帶躍入導帶，生成的電子空穴被導入主反應器內，并擴散到反應器內過濾板的二氧化鈦表面上，穿過界面與吸附在過濾板上的物質發生氧化還原反應。其空穴能量7.5eV，氧化電位+3.0V，具有較強的氧化能力，能夠氧化有機化合物，達完全礦化的程度，生成二氧化碳、水和無機物。以氧化作為氧化劑，它幾乎毫無選擇對廢氣中大量有機污染組分進行氧化分解，且整個分解過程很快，只需要短暫的停留時間即可以分解掉有機污染組分，該處理設備可謂處理工藝的核心部分，正常運行情況下除臭效率可達90%，能處理多種臭氣組成的混合氣體。另外，借助離子體中的離子與物體的凝并作用，可以對小至亞微米級的細微粒物（0.1～3微米）進行有效收集。