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低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體有機廢氣處理解決方案。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。低溫等離子體空氣凈化設備能夠治理的污染有：VOCs、惡臭氣體、異味氣體、油煙、粉塵，也可用于消毒殺菌，而是對于濃度比較高的廢氣類型處理效果有一定局限性的有機廢氣處理解決方案。
根據實際工況，可采用UV光解催化氧化、等離子或納米微氣泡+活性碳吸附或通過多層化學吸附水洗塔組合使用有機廢氣處理解決方案，成為有機廢氣處理設備組合的有機廢氣處理解決方案，從而達到VOCs廢氣粉塵綜合治理的目的的有機廢氣處理解決方案。
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