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2.3.1 X坐標行程：300mm 分辯率 0.001mm

2.3.2 Z坐標行程：150mm 分辯率 0.001mm

2.3.3 Y坐標行程：100mm（調焦）

2.3.4 工作臺尺寸：400mm×150mm

2.3.5 工作臺擺動范圍：±15°

2.4 數據處理系統

2.4.1 DP-300 多功能數據處理系統，全中文顯示可做多點采樣，
     座標旋轉，點、線、距離，角度檢測RS-232數據輸出

     2.5 儀器照明

     2.5.1 透射照明光源：24∨，150W 鹵鎢燈

     2.5.2 反射照明光源：21∨，150W 鹵鎢燈（帶照明光線）

      2.5.3 冷卻方式： 強制風冷（透射用一只軸流風扇，反射用一只軸流風扇）

      2.5.4 儀器電源：110∨/220∨（AC），50/60HZ，總功率400W

      2.5.5 儀器處形尺寸（長×寬×高）：1430mm×710mm×1325mm

      2.5.6 儀器重量：凈重160Kg