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福祿克 微壓活塞式壓力計FPG8601
福祿克 微壓活塞式壓力計FPG8601
產(chǎn)品價格:¥電詢(人民幣)
  • 規(guī)格:FPG8601
  • 發(fā)貨地:深圳
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    商品詳情

       特點: 

      ·基準級微壓活塞壓力計,提供微壓溯源性

      ·優(yōu)異的測量不確定度

      ·全自動的力平衡控制

      ·支持表壓、絕壓和絕差壓測量

      福祿克 微壓活塞式壓力計FPG8601概述

      FPG8601是基準級微壓活塞壓力計,解決了活塞式壓力計在微小壓力范圍內(nèi)以極小的不確定度提供長期溯源性的需求。

      FPG 8601采用了活塞式壓力計原理:加到活塞缸有效面積上的壓力被轉(zhuǎn)換為成比例的力。然而,壓力產(chǎn)生的力并不是與重力加速度引起的重量相平衡的,而是由活塞所在的力平衡壓力傳感器測得的。活塞缸套頂部和底部安裝了壓力室,可改變被用來定義壓力的參考壓力(對于表壓來說是大氣壓,對于絕壓來說是真空)。在常壓下利用高壓室和低壓室調(diào)零壓力傳感器,剔除活塞的重量以及其它非所測壓力的壓力因素,使測量壓力從零開始。根據(jù)活塞缸的有效面積和壓力傳感器測得的凈壓力值即可計算出差壓值。

      為了避免通過在汽缸中旋轉(zhuǎn)活塞來確定其中心的不穩(wěn)定性和機械方面的復(fù)雜性,FPG8601活塞是通過缸體-活塞縫隙中獨立流通的潤滑氣壓來確定中心的。縫隙呈圓錐形,收縮面對稱朝向活塞末端。缸體-活塞縫隙為16 mm,潤滑壓力比參考壓力大40 kPa,保證流入到測量室的氣流非常小(低于總量的1 sccm)。活塞兩端的壓力通過一個萬向節(jié)連接系統(tǒng)傳遞到壓力傳感器,該系統(tǒng)將活塞保持在其重心。連接系統(tǒng)的通路也用來提供缸體-活塞潤滑氣。壓力傳感器被封閉在一個密封室內(nèi),潤滑氣通過該密封室流通。壓力傳感器密封室的設(shè)計有利于保持恒溫,并且潤滑氣的相對濕度被保持在4070 %之間,從而使壓力傳感器的性能達到最佳。

      優(yōu)異的測量不確定度

      該系統(tǒng)在表壓和絕壓模式下覆蓋的量程均為0(絕壓為0.5 Pa)~15 kPa2.2 psi)。測量不確定度為讀數(shù)的±30 ppm與一個非常小的門限誤差的組合,足夠小以能夠校準量程低達130 Pa (1 Torr0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr0.05 in. H2O)的各種微壓傳遞標準。 DHI有一份完整的不確定度分析報告(請參見DHI技術(shù)文章 2090TN05)說明FPG8601的測量不確定度。該儀器的穩(wěn)定度取決于碳化鎢活塞組和不銹鋼砝碼,所以FPG8601的校準間隔與傳統(tǒng)的活塞式壓力計相同,并沒有其它特殊的維護要求。除了卓越的計量性能外,FPG8601還實現(xiàn)了全自動控制;合理的尺寸和重量,在典型的高端計量實驗室環(huán)境下均可正常工作,沒有額外要求。

      全自動的力平衡控制

      FPG8601壓力控制器通過調(diào)整限流閥的氣流進行工作。限流閥的上游側(cè)被連接到上方的FPG壓力室,下游側(cè)被連接到下方的FPG8601的壓力室,并連接到大氣壓,或在絕壓工作模式下連接到獨立的真空源。

      控制器中有幾個具有不同導(dǎo)電系數(shù)的節(jié)流閥,并自動選擇與相應(yīng)的壓力量程相匹配的一個。有2個質(zhì)量流量控制器(MFC),其中1個用于壓力粗調(diào),另1個用于壓力精調(diào),MFC并聯(lián)用于調(diào)整反饋環(huán)路中的流量。根據(jù)壓力設(shè)置點和 FPG8601壓力測量值之差進行控制。有一個兩級的壓力調(diào)節(jié)器,其第二級以節(jié)流閥的下游側(cè)為參考,它為質(zhì)量流量控制器提供了一個穩(wěn)定的輸入壓力。FPG8601 包括一個基于Windows的系統(tǒng)控制器。系統(tǒng)控制器與FPG8601硬件及被測設(shè)備進行通信。FPG Tools軟件監(jiān)測和控制FPG8601的工作,并支持多種高級功能,包括全自動工作、無值守測試程序并采集被測設(shè)備數(shù)據(jù)。所有的FPG8601和被測設(shè)備的數(shù)據(jù)均被記錄為逗號分隔的數(shù)據(jù)文件,可方便地下載至其它應(yīng)用程序進行分析。

      以下為FPG Tools軟件的部分功能:

      ·改變測量模式(表壓/絕壓)

      ·壓力傳感器自動調(diào)零,并自動設(shè)置跨距

      ·調(diào)整數(shù)據(jù)點平均時間

      ·工作狀態(tài)發(fā)生過大變化時自動報警

      ·在低絕壓模式下進行熱蒸發(fā)修正

      ·被測設(shè)備設(shè)置

      ·測試程序定義和儲存

      ·全自動測試

      ·實時繪制測試結(jié)果

      支持表壓、絕壓和絕差壓測量

      FPG8601支持三種不同的測量模式:

      ·表壓模式:把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”側(cè)連接在一起,并和環(huán)境大氣壓相同。

      ·絕壓模式:FPG8601的下方壓力室被抽成真空,并用真空計測量殘留真空。這種模式用于校準密封絕壓的DUT

      ·絕差壓模式:把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”測連接在一起并抽成真空。這種模式用于校準相對于真空的差壓被檢對象。

      此外,FPG8601沒有特殊環(huán)境要求,可安裝在2m長的高質(zhì)量實驗臺上。壓力控制器常常安裝在試驗臺下方。當需要使用絕壓功能時,需要考慮真空泵的位置。如果需要,可以隨系統(tǒng)提供定制的安裝臺。其工作環(huán)境要求為典型的高端計量實驗室環(huán)境。

      福祿克 微壓活塞式壓力計FPG8601 技術(shù)指標:

      電源要求

      FPG860185264VAC50/60 Hz,最大60 VA

      VLPC85264 VAC50/60 Hz,最大70 VA

      正常工作溫度范圍

      2026

      環(huán)境溫度穩(wěn)定性

      0.1 /每分鐘,最大變化率

      重量

      FPG8601平臺:30 kg (66 lb)

      FPG8601 終端: 2 kg(4.4 lb)

      VLPC壓力控制器

      41 kg (90.4 lb)

      尺寸

      FPG8601平臺:53 cm 高×36 cm 寬×35 cm

      FPG8601終端:12 cm 高×15 cm 寬×20 cm

      VLPC 壓力控制器:31 cm 高×51 cm 寬×53 cm

      系統(tǒng)控制器

      運行FPG ToolsWindows操作系統(tǒng), RS232 IEEE-488 接口,用于

      采集FPG DUT 的數(shù)據(jù)

      全壓力量程

      015 kPa表壓、絕壓、絕差壓

      測試介質(zhì)

      氮氣或空氣

      模式轉(zhuǎn)換時間

      絕壓至表壓模式:30分鐘

      表壓至絕壓模式:1小時

      振動

      與傳統(tǒng)的活塞式壓力計相同,真空泵必須用軟管連接

      壓力供給

      活塞-套筒潤滑氣(FPG8601)700800 kPa,清潔、干燥的氮氣或空氣

      FPG參考真空(絕壓模式):渦輪泵:典型值為378 m3/h,極限壓力為8.10-6 Pa

      回轉(zhuǎn)式葉片泵:16.5 m3/h,極限壓力為0.2 Pa

      VLPC壓力源:700800 kPa,清潔、干燥的氮氣

      VLPC真空:10 m3/h @ 0.5 Pa

      驅(qū)動氣(FPG8601VLPC):400700 kPa 壓縮空氣

      壓力連接

      測試高(FPG8601):KF16

      測試低(FPG8601):KF16

      真空參考(FPG8601):KF25

      真空(FPG8601):1/8 in. NPT F

      驅(qū)動/潤滑(FPG8601):1/8 in. NPT F

      壓力源(VLPC):S1/8 in. NPT F

      驅(qū)動(VLPC):1/8 in. NPT F

      真空(VLPC):KF25

      壓力測量

      全量程

      015 kPa 表壓、絕壓、絕差壓

      溫度影響

      監(jiān)測儀器溫度,并在溫度變化的速率和大小對性能影響明顯時,

      發(fā)出報警。

      分辨力

      標準:0.010 Pa

      高分辨力選件:0.001 Pa

      典型壓力測量

      不確定度

      標準:

      表壓、絕差壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 讀數(shù))

      絕壓模式:± (0.025 Pa + 30 ppm 讀數(shù))

      高分辨力選件:

      表壓、絕差壓模式:± (0.005 Pa + 30 ppm 讀數(shù))

      絕壓模式:± (0.008 Pa + 30 ppm 讀數(shù))

      絕對模式下的典型殘留真空

      用渦輪分子泵:0.040.1 Pa

      用回轉(zhuǎn)式葉片泵:0.3 Pa0.4 Pa

      壓力控制

      控制范圍(Pa

      表壓模式:5個交疊的控制范圍

      最小壓力:0

      最小受控壓力:0.1 Pa

      絕壓模式:5個交疊的控制范圍

      最小壓力:0.41 Pa

      最小受控壓力:2 Pa

      控制精度

      標準:

      表壓模式:± (0.020 Pa + 100 ppm 量程)

      絕壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 量程)

      高分辨力選件:

      表壓模式:± (0.005 Pa + 60 ppm 量程)

      絕壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 量程)

      注:控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時的常數(shù)更小。

      標稱測試容積

      表壓模式:最高20 cc/側(cè)(高和低)

      絕壓模式:最高500 cc/側(cè)(高和低)

      壓力穩(wěn)定時間:12分鐘,取決于測試容積

      活塞模塊

      標稱尺寸

      直徑:35 mm

      面積:10 cm2

      活塞材料

      碳化鎢

      套筒材料

      碳化鎢

      安裝系統(tǒng)

      非旋轉(zhuǎn),獨立自定心,中央供氣,潤滑壓力

      活塞-套筒間隙

      對稱圓錐形間隙,雙錐形,在中央潤滑點為6微米,在活塞末端為1微米

      潤滑氣體質(zhì)量

      清潔、干燥的氨氣或空氣,內(nèi)部調(diào)整為4070 %相對濕度

      潤滑氣體壓力

      表壓模式:40 kPa表壓

      絕壓模式:40 kPa 絕壓

      潤滑氣流量:< 1 sccm 至高和低壓力室

      輔助測量

      活塞-缸體溫度()

      范圍:040

      分辨率:0.01

      不確定度:± 0.1

      殘留真空(Pa)

      范圍:0 13

      分辨率:0.001

      不確定度:± (0.5 % 讀數(shù) + 5 MPa)

      監(jiān)控測量

      潤滑氣體溫度()

      范圍:0 40

      分辨率:0.1

      不確定度:± 0.2

      潤滑氣壓力(kPa)

      范圍:0 200 絕壓

      分辨率:0.001

      不確定度:± 0.1

      潤滑氣濕度(%RH)

      范圍:5 95

      分辨率:1

      不確定度:± 10

      訂購信息

      ·標準的FPG8601校準系統(tǒng)包括:

      ·FPG8601平臺

      ·FPG8000 終端

      ·FPG8601 10 kPa/kg 活塞模塊

      ·表壓模式功能(絕壓模式需訂購)

      ·標準分辨力(10mPa),若需高分辨力(1mPa)請定購 FPG-8601-SYS-HR

      ·VLPC壓力控制器

      ·VLPCFPG8601平臺之間的互連件

      ·含系統(tǒng)軟件的系統(tǒng)控制器,2RS232端口和IEEE-488

      ·活塞插入工具

      ·操作與維護手冊

      ·A2LA認可的校準報告

      主機

      型號

      說明

      FPG8601-SYSTEM*

      力平衡式微壓活塞壓力計系統(tǒng)

      *各種絕壓模式下的配套使用的真空泵請咨詢福祿克公司。

      可選附件

      型號

      說明

      FPG8601-MODE-V-REF

      真空參考模式選件

      FPG8601-RES-HIGH

      高分辨力選件(1mPa

    在線詢盤/留言
  • 0571-87774297  
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