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特點:
·基準級微壓活塞壓力計,提供微壓溯源性
·優(yōu)異的測量不確定度
·全自動的力平衡控制
·支持表壓、絕壓和絕差壓測量
福祿克 微壓活塞式壓力計FPG8601概述
FPG8601是基準級微壓活塞壓力計,解決了活塞式壓力計在微小壓力范圍內(nèi)以極小的不確定度提供長期溯源性的需求。
FPG 8601采用了活塞式壓力計原理:加到活塞缸有效面積上的壓力被轉(zhuǎn)換為成比例的力。然而,壓力產(chǎn)生的力并不是與重力加速度引起的重量相平衡的,而是由活塞所在的力平衡壓力傳感器測得的。活塞缸套頂部和底部安裝了壓力室,可改變被用來定義壓力的參考壓力(對于表壓來說是大氣壓,對于絕壓來說是真空)。在常壓下利用高壓室和低壓室調(diào)零壓力傳感器,剔除活塞的重量以及其它非所測壓力的壓力因素,使測量壓力從零開始。根據(jù)活塞缸的有效面積和壓力傳感器測得的凈壓力值即可計算出差壓值。
為了避免通過在汽缸中旋轉(zhuǎn)活塞來確定其中心的不穩(wěn)定性和機械方面的復(fù)雜性,FPG8601活塞是通過缸體-活塞縫隙中獨立流通的潤滑氣壓來確定中心的。縫隙呈圓錐形,收縮面對稱朝向活塞末端。缸體-活塞縫隙為1~6 mm,潤滑壓力比參考壓力大40 kPa,保證流入到測量室的氣流非常小(低于總量的1 sccm)。活塞兩端的壓力通過一個萬向節(jié)連接系統(tǒng)傳遞到壓力傳感器,該系統(tǒng)將活塞保持在其重心。連接系統(tǒng)的通路也用來提供缸體-活塞潤滑氣。壓力傳感器被封閉在一個密封室內(nèi),潤滑氣通過該密封室流通。壓力傳感器密封室的設(shè)計有利于保持恒溫,并且潤滑氣的相對濕度被保持在40~70 %之間,從而使壓力傳感器的性能達到最佳。
優(yōu)異的測量不確定度
該系統(tǒng)在表壓和絕壓模式下覆蓋的量程均為0(絕壓為0.5 Pa)~15 kPa(2.2 psi)。測量不確定度為讀數(shù)的±30 ppm與一個非常小的門限誤差的組合,足夠小以能夠校準量程低達130 Pa (1 Torr,0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr,0.05 in. H2O)的各種微壓傳遞標準。 DHI有一份完整的不確定度分析報告(請參見DHI技術(shù)文章 2090TN05)說明FPG8601的測量不確定度。該儀器的穩(wěn)定度取決于碳化鎢活塞組和不銹鋼砝碼,所以FPG8601的校準間隔與傳統(tǒng)的活塞式壓力計相同,并沒有其它特殊的維護要求。除了卓越的計量性能外,FPG8601還實現(xiàn)了全自動控制;合理的尺寸和重量,在典型的高端計量實驗室環(huán)境下均可正常工作,沒有額外要求。
全自動的力平衡控制
FPG8601壓力控制器通過調(diào)整限流閥的氣流進行工作。限流閥的上游側(cè)被連接到上方的FPG壓力室,下游側(cè)被連接到下方的FPG8601的壓力室,并連接到大氣壓,或在絕壓工作模式下連接到獨立的真空源。
控制器中有幾個具有不同導(dǎo)電系數(shù)的節(jié)流閥,并自動選擇與相應(yīng)的壓力量程相匹配的一個。有2個質(zhì)量流量控制器(MFC),其中1個用于壓力粗調(diào),另1個用于壓力精調(diào),MFC并聯(lián)用于調(diào)整反饋環(huán)路中的流量。根據(jù)壓力設(shè)置點和 FPG8601壓力測量值之差進行控制。有一個兩級的壓力調(diào)節(jié)器,其第二級以節(jié)流閥的下游側(cè)為參考,它為質(zhì)量流量控制器提供了一個穩(wěn)定的輸入壓力。FPG8601 包括一個基于Windows的系統(tǒng)控制器。系統(tǒng)控制器與FPG8601硬件及被測設(shè)備進行通信。FPG Tools軟件監(jiān)測和控制FPG8601的工作,并支持多種高級功能,包括全自動工作、無值守測試程序并采集被測設(shè)備數(shù)據(jù)。所有的FPG8601和被測設(shè)備的數(shù)據(jù)均被記錄為逗號分隔的數(shù)據(jù)文件,可方便地下載至其它應(yīng)用程序進行分析。
以下為FPG Tools軟件的部分功能:
·改變測量模式(表壓/絕壓)
·壓力傳感器自動調(diào)零,并自動設(shè)置跨距
·調(diào)整數(shù)據(jù)點平均時間
·工作狀態(tài)發(fā)生過大變化時自動報警
·在低絕壓模式下進行熱蒸發(fā)修正
·被測設(shè)備設(shè)置
·測試程序定義和儲存
·全自動測試
·實時繪制測試結(jié)果
支持表壓、絕壓和絕差壓測量
FPG8601支持三種不同的測量模式:
·表壓模式:把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”側(cè)連接在一起,并和環(huán)境大氣壓相同。
·絕壓模式:FPG8601的下方壓力室被抽成真空,并用真空計測量殘留真空。這種模式用于校準密封絕壓的DUT。
·絕差壓模式:把FPG8601的下方壓力室和測試的“低”測連接在一起并抽成真空。這種模式用于校準相對于真空的差壓被檢對象。
此外,FPG8601沒有特殊環(huán)境要求,可安裝在2m長的高質(zhì)量實驗臺上。壓力控制器常常安裝在試驗臺下方。當需要使用絕壓功能時,需要考慮真空泵的位置。如果需要,可以隨系統(tǒng)提供定制的安裝臺。其工作環(huán)境要求為典型的高端計量實驗室環(huán)境。
福祿克 微壓活塞式壓力計FPG8601 技術(shù)指標:
電源要求 |
FPG8601:85~264VAC,50/60 Hz,最大60 VA |
VLPC:85~264 VAC,50/60 Hz,最大70 VA |
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正常工作溫度范圍 |
20~26 ℃ |
環(huán)境溫度穩(wěn)定性 |
0.1 ℃/每分鐘,最大變化率 |
重量 |
FPG8601平臺:30 kg (66 lb) |
FPG8601 終端: 2 kg(4.4 lb) |
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VLPC壓力控制器 |
41 kg (90.4 lb) |
尺寸 |
FPG8601平臺:53 cm 高×36 cm 寬×35 cm 深 |
FPG8601終端:12 cm 高×15 cm 寬×20 cm 深 |
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VLPC 壓力控制器:31 cm 高×51 cm 寬×53 cm 深 |
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系統(tǒng)控制器 |
運行FPG Tools,Windows操作系統(tǒng), RS232和 IEEE-488 接口,用于 |
采集FPG 和 DUT 的數(shù)據(jù) |
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全壓力量程 |
0~15 kPa表壓、絕壓、絕差壓 |
測試介質(zhì) |
氮氣或空氣 |
模式轉(zhuǎn)換時間 |
絕壓至表壓模式:30分鐘 |
表壓至絕壓模式:1小時 |
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振動 |
與傳統(tǒng)的活塞式壓力計相同,真空泵必須用軟管連接 |
壓力供給 |
活塞-套筒潤滑氣(FPG8601):700~800 kPa,清潔、干燥的氮氣或空氣 |
FPG參考真空(絕壓模式):渦輪泵:典型值為378 m3/h,極限壓力為8.10-6 Pa |
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回轉(zhuǎn)式葉片泵:16.5 m3/h,極限壓力為0.2 Pa |
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VLPC壓力源:700~800 kPa,清潔、干燥的氮氣 |
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VLPC真空:10 m3/h @ 0.5 Pa |
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驅(qū)動氣(FPG8601和VLPC):400~700 kPa 壓縮空氣 |
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壓力連接 |
測試高(FPG8601):KF16 |
測試低(FPG8601):KF16 |
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真空參考(FPG8601):KF25 |
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真空(FPG8601):1/8 in. NPT F |
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驅(qū)動/潤滑(FPG8601):1/8 in. NPT F |
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壓力源(VLPC):S1/8 in. NPT F |
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驅(qū)動(VLPC):1/8 in. NPT F |
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真空(VLPC):KF25 |
壓力測量
全量程 |
0~15 kPa 表壓、絕壓、絕差壓 |
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溫度影響 |
監(jiān)測儀器溫度,并在溫度變化的速率和大小對性能影響明顯時, |
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發(fā)出報警。 |
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分辨力 |
標準:0.010 Pa |
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高分辨力選件:0.001 Pa |
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典型壓力測量 不確定度 |
標準: 表壓、絕差壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) 絕壓模式:± (0.025 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) |
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高分辨力選件: 表壓、絕差壓模式:± (0.005 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) 絕壓模式:± (0.008 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) |
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絕對模式下的典型殘留真空 |
用渦輪分子泵:0.04~0.1 Pa |
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用回轉(zhuǎn)式葉片泵:0.3 Pa~0.4 Pa |
壓力控制
控制范圍(Pa) |
表壓模式:5個交疊的控制范圍 最小壓力:0 最小受控壓力:0.1 Pa |
|
絕壓模式:5個交疊的控制范圍 最小壓力:0.4~1 Pa 最小受控壓力:2 Pa |
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控制精度 |
標準: 表壓模式:± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 絕壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) |
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高分辨力選件: 表壓模式:± (0.005 Pa + 60 ppm 量程) 絕壓模式:± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) |
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注:控制精度為最差情況。絕壓模式在較低范圍時的常數(shù)更小。 |
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標稱測試容積 |
表壓模式:最高20 cc/側(cè)(高和低) |
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絕壓模式:最高500 cc/側(cè)(高和低) |
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壓力穩(wěn)定時間:1~2分鐘,取決于測試容積 |
活塞模塊
標稱尺寸 |
直徑:35 mm 面積:10 cm2 |
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活塞材料 |
碳化鎢 |
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套筒材料 |
碳化鎢 |
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安裝系統(tǒng) |
非旋轉(zhuǎn),獨立自定心,中央供氣,潤滑壓力 |
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活塞-套筒間隙 |
對稱圓錐形間隙,雙錐形,在中央潤滑點為6微米,在活塞末端為1微米 |
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潤滑氣體質(zhì)量 |
清潔、干燥的氨氣或空氣,內(nèi)部調(diào)整為40~70 %相對濕度 |
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潤滑氣體壓力 |
表壓模式:40 kPa表壓 |
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絕壓模式:40 kPa 絕壓 |
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潤滑氣流量:< 1 sccm 至高和低壓力室 |
輔助測量
活塞-缸體溫度(℃) |
范圍:0~40 |
分辨率:0.01 |
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不確定度:± 0.1 |
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殘留真空(Pa) |
范圍:0 ~ 13 |
分辨率:0.001 |
|
不確定度:± (0.5 % 讀數(shù) + 5 MPa) |
監(jiān)控測量
潤滑氣體溫度(℃) |
范圍:0 ~ 40 |
分辨率:0.1 |
|
不確定度:± 0.2 |
|
潤滑氣壓力(kPa) |
范圍:0 ~ 200 絕壓 |
分辨率:0.001 |
|
不確定度:± 0.1 |
|
潤滑氣濕度(%RH) |
范圍:5 ~ 95 |
分辨率:1 |
|
不確定度:± 10 |
訂購信息
·標準的FPG8601校準系統(tǒng)包括:
·FPG8601平臺
·FPG8000 終端
·FPG8601 10 kPa/kg 活塞模塊
·表壓模式功能(絕壓模式需訂購)
·標準分辨力(10mPa),若需高分辨力(1mPa)請定購 FPG-8601-SYS-HR
·VLPC壓力控制器
·VLPC和FPG8601平臺之間的互連件
·含系統(tǒng)軟件的系統(tǒng)控制器,2個RS232端口和IEEE-488
·活塞插入工具
·操作與維護手冊
·A2LA認可的校準報告
主機
型號 |
說明 |
FPG8601-SYSTEM* |
力平衡式微壓活塞壓力計系統(tǒng) |
*各種絕壓模式下的配套使用的真空泵請咨詢福祿克公司。
可選附件
型號 |
說明 |
FPG8601-MODE-V-REF |
真空參考模式選件 |
FPG8601-RES-HIGH |
高分辨力選件(1mPa) |