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產(chǎn)品名稱：SENS4真空傳感器VPM-5

產(chǎn)品型號(hào)：VPM-5

產(chǎn)品介紹：

VPM-5傳感器提供良好性能，并通過將可用的電導(dǎo)率真空測(cè)量儀的可用測(cè)量范圍擴(kuò)展到1-3年來建立了新標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)，再加上新型的準(zhǔn)確數(shù)字信號(hào)處理架構(gòu)和創(chuàng)新測(cè)量算法。

性能特點(diǎn)：

?超寬的測(cè)量范圍為9年

?通過S4-Connect USB程序員簡(jiǎn)化配置

?0-10 VDC可編程電壓輸出

?數(shù)字RS-232或RS485接口

?穩(wěn)定Zero漂移補(bǔ)償

?可選的固態(tài)設(shè)定點(diǎn)繼電器用于過程控制

參數(shù)：

?磁滯1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％

?滯后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％

?模擬輸出分辨率：16位（150 μV）

?模擬輸出更新率：124 Hz

?響應(yīng)時(shí)間（ISO 19685：2017）：<20 ms

?溫度補(bǔ)償：+10至+50°C

?固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）

?固態(tài)繼電器接觸評(píng)級(jí)：50 V，100 MARMS / MADC

環(huán)境條件:

?操作環(huán)境溫度：-20至+50°C

?介質(zhì)溫度：-20至+50°C

?存儲(chǔ)環(huán)境溫度：-40至+120°C

?烘烤溫度（非操作）：+120°C

?安裝位置：任意

?濕度，IEC 68-2-38：98％，無調(diào)

電源:

?電源電壓：12-30 VDC

?功耗：240 MW（max）

?反極性保護(hù)：是

?電壓保護(hù)：是

?內(nèi)部保險(xiǎn)絲：100 mA（可回收）

應(yīng)用：

?質(zhì)譜儀

?掃描電子顯微鏡

?爐熱處理

?玻璃，光學(xué)，工具等的PVD涂層

?制冷服務(wù)和制造

?半導(dǎo)體處理