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真空機(jī)器人，可以在10-7Pa的真空環(huán)境下運(yùn)行，耐溫達(dá)200，真空機(jī)器人的設(shè)計(jì)首要考慮機(jī)構(gòu)和材料。此系列產(chǎn)品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數(shù)相當(dāng)?shù)牟⑶页鰵饴实偷牟牧�。此系列產(chǎn)品主要運(yùn)用于真空室，高溫室，高潔凈度環(huán)境。

  產(chǎn)品特點(diǎn)

  一體化設(shè)計(jì)，可靠易用

  標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)制造60、90、120三種規(guī)格，可定制其它規(guī)格

  工作環(huán)境溫度-196℃至+200℃

  適用真空度10-7Pa