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主要技術指標：

產品名稱：真空擴散爐

規格： 內φ130㎜×1100mm

最高使用溫度：1200℃

工作溫度：1150℃

真空室等溫區長度：≥400mm

等溫區溫度均勻度：（1150℃）±1℃

單點控制精度：±1℃/24小時

升溫功率：≤16KW

保溫功率：≤7KW

開機重復性：±1℃

冷態真空度：10-3Pa以下

爐體移動速度：≥2米/分鐘

爐體定位精度：≤±2毫米

升溫時間：≤70min（加載后至恒溫時間）

降溫時間：≤30min（工件出爐溫度≤100℃）

充氣壓力：≤0.2Mpa

供電方式：三相四線  380V±10%  50Hz

單工作室有效負載重量：≥6kg（指工件及模具重量）

該系統是生產半導體器件和大規模集成電路的重要設備。

1、系統組成：a)擴散爐主機  b)推拉舟及層流凈化臺  c)氣源柜  d)排毒柜  e）微機控制柜

2、擴散爐管數：1～4管/臺

3、爐管內徑：φ90㎜×240mm

4、恒溫區長度：≤600mm±1℃(300～800℃）  ≤600mm±0.5℃(800～1250℃）

5、單點穩定性：±1℃/24h(300～800℃）    ±0.5℃/24h(800～1250℃）

6、氣源路數：≤6路

7、氣源控制：MFC或浮子流量計

8、推拉舟行程：最大1500mm

9、推拉舟速度范圍及精度：（1～1000）± 3mm/min

10、推拉舟位置控制精度：≤3mm

11、冷卻方式：水冷+風冷

12、微控部分采用STD總線功能模板

    a)主CPU板：8031+32ROM+8KRAM+總線接口部件

    b)信號調理板：完成對溫度過程的采樣、放大及高精度A/D的轉換

    c)人機界面板：接收鍵入信息管理，并配置9”液晶顯示

    d)推拉舟接口板：輸出推拉舟速度值，完成舟位置檢測，輸出推拉舟的運動指令

    e)MFC接口板：輸出MFC設定值，將MFC的流量信息采入計算機

    f)可控硅控制及形狀量輸出板：完成與可控硅觸發及開關量放大驅動器接口等功能

    g)鍵盤：采用標準鍵盤或專用小鍵盤

    h)電源板（非STD總線板）

    i)可控硅觸發板：完成可控硅的過零觸發或移相觸發驅動(非STD總線板)

    j)開關量驅動板：完成由STD總線板的數字信號(TTL電平)的轉換、放大，用于驅動氣路閥（非總線板）

    k)推拉舟驅動部分：接收總線板輸出的推拉舟速狀態指令，并將位置轉換成標準信號輸出，有手動自動轉換

13、微機控制特點：

    a)工藝溫度段數：1～14段，可選段運行

    b)單段時間范圍：1～1080分鐘/斜變段    1～9999分鐘/恒溫段

    c)三個溫度測控回路獨立修正溫度測量值               d)三個溫度測控點獨立修正溫度測量值

    e)PID參數，溫度修正量可在線修改                      f)溫度設定單位：℃   分辨率：0.1℃

    g)工藝段時間設定單位：min，分辨率：1min                h)各類工藝數據斷電后長期保存

    i)工藝氣體流量，推拉舟運動狀態由微機實行閉環控制  j)中文顯示各類提示信息

k)各類輸入信息采用填表方式完成，條例清楚，邏輯合理