商鋪名稱:江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司
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1.概述
1.1 設(shè)備概況:
主要功能:本設(shè)備主要手動搬運(yùn)方式,通過對部件腐蝕、漂洗、等方式進(jìn)行處理,從而達(dá)到一個用戶要求的效果。
1.1.1 設(shè)備名稱:部件清洗機(jī)
1.1.2 設(shè)備型號:CSE-SC-N261
1.1.3 整機(jī)尺寸(參考):約1800mm(L)×1300mm(W)×1900mm(H);
1.1.4 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;
1.1.5 操作形式:手動
1.2 設(shè)備組成
該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成
設(shè)備走向:方案圖按 “左進(jìn)右出”方式,另可按要求設(shè)計“右進(jìn)左出”方式;
1.3 設(shè)備描述
l? 此裝置是一個手動的處理設(shè)備。
l? 每個槽前上方對應(yīng)操作按鈕,與觸摸屏(PROFACE/OMRON)互相配合
l? 主體材料:德國進(jìn)口10mmPP板,優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架,外包3mmPP板防腐;
l? 臺面板為德國10mm PP板;
l? DIW管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口clean-PVC管材,需滿足18MW去離子水水質(zhì)要求,酸堿管路材質(zhì)為進(jìn)口PFA/PVDF;
l? 采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工,焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成
l? 排風(fēng):位于機(jī)臺后上部
l? 工作照明:上方防酸照明
l? 安全考慮:
1. 設(shè)有EMO(急停裝置),
2. 強(qiáng)電弱點隔離
3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面
4. 電控箱正壓裝置(CDA Purge)
5. 設(shè)備三層防漏? 樓盤傾斜?? 漏液報警? 設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)
6. 排放管路加過濾裝置
l? 所有槽體折彎成型,可有效避免死角顆粒;
二、設(shè)備結(jié)構(gòu)及主要工藝概況