商鋪名稱：江蘇英思特半導體科技有限公司
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1.設備概況
l? 名稱：顯影清洗臺
l? 型號：CSE-JR11-N001；
l? 機臺尺寸 : 2000mmWx1500mmDx2000mmH
l? 重量：600Kg( 大約)；
l? 工作環境：室內放置；
2.機臺臺面
l? 操作臺面高度為850mm，適合于身高為1.5m到1.8m人員操作；
3.整機構造
l? 骨架：優質不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐焊接而成；
l? 外殼：德國進口10mm瓷白PP板熱焊接而成；
l? 防護門：正面操作側采用透明上下推拉門；
l? 管路：管路位于機臺下后部，以節省空間，采用英制接口；
l? 排風：根據流體學原理設計位于機臺后上部，并配有導流和風量調節裝置；
l? 工作照明：機臺上方配黃光照明（與工作區隔離）；
l? DI/N2 GUN：可伸縮的N2 Gun和DI水槍個1把，置于工作區右側；
l? 臺面板為德國10mm PP板（帶有漏液孔）；
l? 人機界面：Touch Screen彩色界面；
l? 支腳：有滑輪裝置和固定裝置，可調整高度和鎖定；
l? 三色報提示等和蜂鳴器
4.控制系統
l? PLC可程式控制器（歐姆龍）＋Touch Screen 8"彩色人機界面操作。
l? 制程參數皆采用可設定、修改、記憶制程模式；
l? 操作模式可分為自動/手動/編輯/維修。
l? 配有獨立配電箱，電路區進行功能分塊，強電、弱電塊，以便于維護；
l? 具Password功能以避免操作人員誤改參數：
Password-1.啟動及可進入自動模式內容。
Password-2可進入編輯模式修改制程參數。
Password-3可進入手動模式。
5.安全保護
l? 設備采用耐腐蝕導線并通過氟套管進行保護，防腐防水；
l? 設有防漏電斷路保護裝置；
l? 電控部分正壓空體保護，防水防腐；
l? 設備有可靠的接地裝置及緊急關機和提示系統；
l? EMO 裝置緊急按鈕開關；
l? 蜂鳴器聲鳴提示工作完成，三色提示燈及蜂鳴聲光故障提示；
l? 機臺底部設有防漏盤及漏液感知；
l? 液位異常感知/安全液位保護；
l? 加熱保護；
6.工作槽參數
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1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
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顯影-1 |
顯影-2 |
顯影-3 |
顯影-4 |
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正膠顯影 |
正膠顯影 |
負膠顯影 |
負膠顯影 |
N2 dry-1 |
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水洗槽 |
QDR-1 |
QDR-2 |
QDR-3 |
N2 dry-2 |
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6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
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