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1.1 設備概況：

1.1.1 主要功能：設備主要采用人工上下料、機械手自動實現槽體之間轉移方式，對2--12英寸石英爐管或其他石英配件進行酸液浸泡、水槽噴洗、水槽溢流漂洗、水槽氮氣鼓泡等方式進行處理，從而達到一個優異的清洗效果；

1.1.2 被清洗爐管尺寸（Max）：2--12英寸的石英爐管，；

1.1.3 設備形式：無塵室（class 1000級 fab）內放置型；

1.1.4 清洗時間：0~999MIN（可根據實際工藝時間而定）；

1.1.5 操作形式：觸摸屏 自動/手動操作；

1.2 設備組成

1.2.1 該設備主要由殼體部分、槽體部分、管路系統、機械臂機構、排風系統、電控部分及防漏液盤組成；

1.3 設備描述

1.3.1 該設備是一個全自動（清洗）的處理設備；

1.3.2 觸摸屏（PROFACE、OMRON）顯示 / 檢測 / 操作；

1.3.3 清洗工作過程由歐姆龍或三菱PLC 控制；

1.4 設備特性

1.4.1 需要漂洗能力強,性能穩定,安全可靠;

1.4.2 需要設備成本合理,自動化程度高,使用成本低;

1.4.3 設備上層為電器控制系統、機械臂機構及抽風系統，中層為工作區，下層和后下部為管道安裝維修區；

1.4.4 設備結構設計必須合理，方便工程師維護、維修，適宜生產線上大批次操作；

1.4.5 機臺要求有回收水裝置，在排水管路上安裝一個三通裝置，并在程式中選擇排水路徑，將水排入純回水管路或者DHF管路；

1.4.6 配備一個可移動的清洗架，主要用于清洗小件Quartz和boat；

1.4.7 在水槽左右側壁處需要開溢流口（開關狀態可受控制）；

1.4.8 在整臺設備的底部裝有防漏液盤；

1.4.9 臺面網孔設計；

1.4.10 水平調整：通過地腳調整設備水平；

1.4.11 設備移動：設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用；

1.4.12 上料平臺操作面高度：950mm；

1.4.13 操作面門設計：單開門透明的PVC活動門（上下推拉+配重）；

1.4.14 對水槽和酸槽清洗操作流程可自由編寫程式，并自動運行；

1.4.15 在水槽兩頭需要安裝水管和氣管各一支；

1.4.16 設計內外槽：內槽為酸槽，外槽為水槽；（內外槽，分別有溢流功能）

1.4.17 使用酸液為：49%HF與DIW配比后的HF

1.4.18 各槽材質：酸槽為PVDF（耐化學腐蝕），水槽為NPP（耐腐蝕）；

1.4.19 防漏槽材質為：PP；

1.4.20 機械手臂需要能夠上下左右移動（上升時需要有略傾斜功能----左右落差3cm， 將酸液倒出）；

1.4.21 機械手臂需要采用伺服電機控制；

1.4.22 使用的DI WATER和酸液（HF49%）都是由廠務系統提供；

1.4.23 需要日常照明以及alarm信息的存檔和查看；

1.4.24 自動清洗流程

人工上料→選擇好相應的清洗時間→按AUTO（RUN，door open interlock）鍵→系統自動移動到酸槽進行酸洗（右邊比左邊低3CM下行）→等泡酸時間結束系統自動將Quartz提起（右邊比左邊低3CM上行）→系統自動移動到水槽進行清洗→清洗完成后定位在水槽上方→所有動作完成后蜂鳴器提示（1分鐘）→人工下料；