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| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 貝意克 | ||
| 尺寸 | 1600mm*650mm*1400mmcm | ||
| 底座 | 帶輪子 | ||
| 桿長 | 230 | ||
| 產品規格 | BTF-1200C-S-R-PECVDmm | ||
| 控溫方式 | 7 | ||
迷你智能型等離子體可回轉化學氣相沉積系統
1.該設備爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻；
2.該款設備是全自動Plasma增強CVD系統（PECVD）,系統可以實現連續滑動溫區，連續可控溫度以及Plasma強度等，配備真空系統，可以實現低壓條件下的實驗，針對低溫石墨烯、碳納米管生長等。PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。
