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過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用 工欲善其事，必先利其器。當代的科技發展史告訴我們，專用的計算機輔助設計工具
(CAD》對于一個行業的發展往往起到了巨大的倍增器效應，微電子設計工具(EDA)對微電子
過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用行業發展的推動作用即是一個典型的案例。EDA工具的出現直接導致了微電子行業設計與過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用
加工分離的產業特征，大大促進了微電子產業的發展和壯大。當前，僅EDA行業每年的市場
過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用總額都在40億美元以上。
過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用對于符合MEMS產業特點設計工具(MEMSCAD)的追求是MEMS業界一個長期的奮
過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用斗目標.當前，全世界已有幾十種MEMS設計工具[3-19]。一般可將這些設計工具分成兩大
類過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用。第一類是集成化設計工具，為MEMS用戶提供了從系統行為建模與仿真到器件物理分
析，再到版圖設計和工藝建模仿真等全過程的設計解決方案，典型的有CoventorWare[33 , In-
tellisuite[']和法國的MEMS Pro"'，中過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用國的MEMS Garden[d]等。第二類是MEMS特定功能過欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用
模塊的設計工具，其針對MEMS設計過程中某一階段的設計需求而開發，并不提供整套解決
方案。典型的設計工具包括
MEMS系統級建模與仿真軟件Nodast'], Sugar[e]等;多物理場藕
合建模與仿真軟件Comosol[9]
, Ansys Multiphysics[10]等，工藝版圖編輯軟件L-Editt"], LA-
SI[IY〕等;宏建模軟件AutoMM[z3], ROM[i'], Mor4Ansys[15〕等;工藝模擬軟件
ACES["], Simo-
de("] ,SEGSt18]等.這些分散的軟件模塊已經有很多集成在第一類集成設計工具里。
在這兩類設計工具里，集成設計工具提供了完備的MEMS建模與仿真解決方案，符合
