斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣 微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)主要是指通過半導體工藝或其
他微細加工工藝制造的微型機械。其英文縮寫MEMS恰到好處地反映了其主要技術特點。
MEM斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣S一詞中的第一個字母“M"，即Micro，代表這一技術是微型的。MEMS中典型結構的
特征尺寸在微米量級，隨著斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣尺寸的縮小，顯然會降低MEMS系統的功耗，增大其諧振頻率，進
而提高可靠性等。因此，可以說微型化是MEMS技術的一個最顯著的特征。如此微小的結構
當前仍主要通斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣過硅基半導體工藝來進行實現，這也使得MEMS一般都具有批量化生產的優
點。而目前快速發展的非硅工藝，如準分子激光、飛秒激光、電火花加工等手段也可以實現
MEMS技術的斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣微型化，并開始在MEMS領域中占據越來越重要的地位。MEMS中第二個字
母“E"，即Electro，表明微機電系統是與“電”密不可分的。一方面，MEMS主要是以微型的傳
感器斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣或執行器斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣為主，那么對微弱電信號的拾取與調理必然是不可缺少的。另一方面，這個“E"
也在某一程度上代表了這項技術是緣于微電子行業的。第三個字母“M”代表了結構、力學等
與機械相關的東西.最后一個字母“S”代表了MEMS是一個相對完整的系統或子系統，具備
一定的功能，并且該系統還往往可以在硅片上進行機械結構與控制電路的單片集成.
像微電子技術一樣，MEMS技術也是一項使能性技術(Enabling Technology)，加上
MEMS器件本身所具有的微型化、低功耗、高集成度等優點，其已經在航空、航天、汽車、醫療
器械、消費電子等諸多領域都找到了很好的結合點.目前，全世界已經有超過130種的
MEMS器斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣件[[1]，其中打印機噴頭、微加速度計、微陀螺、微麥克風和數字微鏡均已經實現了大
規模的批量生產，銷售額每年超過80億美元(見圖1 -1)。根據Yole公司的市場預測，僅基于
硅M斷路器過欠壓脫扣器，過壓，欠壓脫扣EMS技術的MEMS市場在2010年就將超過100億美元。
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