重塑微流控制造范式:非接觸式CO2激光加工系統實現芯片零損傷精密制造
在微流控芯片邁向產業化之際,傳統機械加工導致的材料應力損傷、化學蝕刻引發的污染已成為行業瓶頸。我司全自動CO2激光雕刻切割系統(非接觸式微流控芯片激光加工設備),憑借非接觸式加工技術,解決PMMA、PDMS、石英玻璃等多元材料的微流控芯片制造難題,實現無應力、無污染、跨材料的一站式精密加工。
非接觸式激光加工核心價值
1. 零物理損傷
激光束無工具磨損式加工,消除機械應力導致的材料形變(如PDMS拉伸變形、石英微裂紋、亞克力邊緣碎裂),微通道結構完整性提升99%,保障芯片功能可靠性。
2. 全材料兼容
智能能量控制系統動態匹配材料特性:
熱敏材料(PDMS):脈沖調制技術控制熱影響區小,避免硫化失效
硬脆材料(石英):高功率脈沖瞬時氣化,實現30μm線寬無錐度雕刻
聚合物(PMMA):優化波長吸收率,切口透光度>92%
單臺設備覆蓋90%微流控芯片基材
3. 潔凈級生產環境
全封閉加工艙體+負壓除塵系統:
隔絕外部污染物
HEPA過濾納米級加工微粒(PDMS硅氧烷/石英硅塵)
氮氣輔助吹掃防止熔融物殘留,避免生物檢測交叉污染
工藝升級
? 效率提升:單芯片加工提速5-8倍(PDMS模具30分鐘完成,較光刻工藝節約48小時)
? 成本降低60%:淘汰掩模版、光刻膠、等耗材,減少潔凈室投入
? 良率突破:跨材料加工平均良率高
智能控制系統
三軸聯動精密平臺:重復定位精度高,支持曲面自適應加工
CCD視覺定位系統:自動識別材料邊界,補償熱變形誤差
實時溫控模塊:紅外監測加工區溫度,PDMS加工<80℃/石英加工<150℃
數字孿生界面:加工參數云存儲,一鍵復現工藝標準
賦能微流控全產業鏈
從研發端快速原型驗證(24小時完成設計迭代),到量產端柔性生產(支持4/6英寸晶圓標準化加工),本設備提供:
→ 微模具雕刻 → 芯片輪廓切割 → 表面親疏水改性 → 微結構打標
全流程非接觸式解決方案,已應用于器官芯片、即時診斷(POCT)、基因測序等領域。
讓每一片微流控芯片,都誕生于潔凈的精密制造!