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當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。(在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。)

采用低溫等離子體分解油霧廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。廢氣和惡臭氣體經過等離子體電場區，在納秒級時間范圍內流星雨狀的高能離子與介質內分子(原理）發生非彈性碰撞，等離子猛烈轟擊廢氣和臭味等污染物分子，產生裂變分解反應，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發，離解、電離等一系列過程使污染介質處于活性狀態，污染介質在等離子體的作用下，產生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時產生大量臭氧、原子氧、生態氧等混合氣體，進行一系列復雜的分化裂解和氧化還原反應。（初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子。當能量超過氧分子的電離電位時氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性養離子（O2-),結果是氧離子的兩極分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的離子群，具有極強的氧化性，可在很短的時間內將污染空氣中的有害成分分解為無害的產物和水）從凈化空氣效率考慮，我們選擇了電暈電流較高化裝置采用脈沖電暈放電低溫等離子體與吸附技術相結合的原理對有害氣體進行，其中低溫等離子體主要用來去除硫化氫、氨、苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、樹脂、等氣體及，吸附材料主要用于去除二氧化碳及臭氧等副產物。凈化裝置由初濾單元低溫等離子體發生器及過濾單元，風機等設備和部件組成。