商鋪名稱:深圳市天力士機(jī)械有限公司
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靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù);靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體,表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜,另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜,在保證輸出穩(wěn)定,同時(shí)避免高壓靜電壓尖銳擊穿。靜電卡盤系統(tǒng)由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機(jī)具有漏電保護(hù)、電流過載保護(hù)及高壓脈沖保護(hù);靜電吸附單元電極采用高頻導(dǎo)體,表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜,另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜,在保證輸出穩(wěn)定,同時(shí)避免高壓靜電壓尖銳擊穿。