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    表面形貌儀在工業領域中的應用
    發布者:hzjiawei  發布時間:2021-12-21 10:42:42  訪問次數:170

    一、表面形貌儀的介紹:

          表面形貌儀采用的白光共聚焦技術,Z高掃描速度可達1m/s,可實現對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試,具有測量精度高,速度快,重復性好的優點,測量不受樣品反射率和光的影響,測量簡單,可用于測量大尺寸樣品,如透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料等,主要應用于半導體材料、太陽能電池、醫療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和先進材料的研發。


    二、測量原理:

      低相干白光同時照射樣品和參考平面,被樣品和參考平面反射的兩束白光發生干涉后由陣列式CMOS探測器接收,由于探測器直接與信號處理芯片(Smart Pixel技術)連接,所以陣列上每個像素點的信號都在芯片中完成鎖相放大,背景信號補償和結果計算輸出,成像于計算機就實現了樣品表面的快速三維形貌測量。

      

    三、在工業領域的應用:

      食品安全在線檢測。
      微電子集成電路表面形貌在線檢測。
      印刷電路板品質檢測。
      零件器件表面劃痕損傷檢測。
      微機械精加工質量控制,如鐘表,微機械器件等。
      電子產品零件在線監控,如手機,筆記本電腦,平板等。
      微流體器件三維形貌檢測。
      在線檢測設備集成。
      證.件防偽,安檢。
      
    四、技術特點:
      1、每秒一百萬張二維圖像。
      2、無損表面形貌檢測和分析。
      3、高精度在線/離線檢測。
      4、模塊化設計,超高集成靈活性。
      5、無需苛刻的工作環境(振動,噪聲,溫度等)。
      6、可應用于科研和工業領域。
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