FMA-LP1614A FMA-LP1605A-I FMA-LP1603A-B流量計OMEGA歐米茄
FMA-LP1600A低壓降氣體質量流量計
范圍 0 到 0.5 SCCM 高達 0 到 500 SLM
報告質量流量、體積流量、溫度和壓力
lt;10 ms 響應時間——現場可調
130 多種氣體校準，包括空氣、Ar、CH4、CO、CO2、乙烷、H2、He、N2、N2O、氖、O2、丙烷、丁烷、異丁烷、乙炔、乙烯、氪、氙和六氟化硫
同時顯示壓力、溫度、體積和質量流量
包括 NIST 5 點
無需直管段
無需預熱時間
200:1 的量程比（0.5% 蕞大流量）
RS232標準
便攜式電池供電裝置（-B 型號）
FMA-LP1600A 系列質量和體積流量計使用層流場內的壓差原理來確定質量流量。儀表內的層流元件 (LFE) 迫使氣體進入層流（流線型）流。在該區域內，泊肅葉方程表明體積流量與壓降呈線性關系。壓差傳感器用于測量沿 LFE 固定距離的壓降。這與氣體的粘度一起用于準確確定體積流量。的溫度和壓力傳感器被結合并根據一組標準條件校正體積流量。這種標準化流量通常稱為質量流量，以標準立方英尺每分鐘 (SCFM) 或標準升每分鐘 (SLM) 等單位報告。標準裝置包括 0 至 5 V 輸出（4 至 20 mA 可選）和 RS232 通信。氣體選擇功能可以通過前鍵盤或通過 RS232 通信進行調整。體積流量、質量流量、壓力和溫度都可以通過 RS232 連接查看或記錄。還可以在同一串行連接上將多達 26 個單元多點連接至 38 m (125') 的距離。這些流量計可以通過可選的電池組（-B 型號）進行攜帶。氣體選擇功能可以通過前鍵盤或通過 RS232 通信進行調整。體積流量、質量流量、壓力和溫度都可以通過 RS232 連接查看或記錄。還可以在同一串行連接上將多達 26 個單元多點連接至 38 m (125') 的距離。這些流量計可以通過可選的電池組（-B 型號）進行攜帶。氣體選擇功能可以通過前鍵盤或通過 RS232 通信進行調整。體積流量、質量流量、壓力和溫度都可以通過 RS232 連接查看或記錄。還可以在同一串行連接上將多達 26 個單元多點連接至 38 m (125') 的距離。這些流量計可以通過可選的電池組（-B 型號）進行攜帶。