性能
泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱(chēng)為
壓縮比。壓縮比除與泵的級(jí)數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外，還與氣體種類(lèi)有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對(duì)氮（或空氣）的壓縮比為10
8～10
9；對(duì)氫為10
2～10
4；對(duì)分子量大的氣體如油蒸氣則大于10
10。
泵的極限壓力為10
-9Pa，工作壓力范圍為10
-1～10
-8Pa，
抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1L=10
-3m
3）。
渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的優(yōu)越性，因此要求配有工作壓力為1～10-2Pa的前級(jí)真空泵。
特點(diǎn)
抽速大、無(wú)油、啟動(dòng)快、無(wú)油污染、維護(hù)簡(jiǎn)單
工作范圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空
極限真空：10-6/ 10-10torr
缺點(diǎn)：結(jié)構(gòu)復(fù)雜、對(duì)軸承耐磨程度要求高、制造成本高
