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    伯東 KRI 考夫曼射頻離子源在 PCB 鉆頭銑刀上的應用
    發布者:bdqysh  發布時間:2020-11-13 11:04:39  訪問次數:124

    電子工業的飛速發展對線路板制造業的要求越來越高, 線路板層數越來越高, 孔密越來越大并向微孔化不斷發展, 某國內制造商為了銑刀進行銑邊及成型加工時, 減少產品的披鋒、毛刺及銑刀斷刀, 采用伯東 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP 380輔助鉆頭銑刀上鍍膜.

     

    該制造商的真空離子鍍膜技術, 利用 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP 380 轟擊靶材形成離子, 并使離子在強磁場的驅動下吸附于鉆頭或鑼刀上形成鍍層, 制備出鍍膜鉆頭及鍍膜銑刀.

    用于濺射的 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術參數:

    射頻離子源型號

    RFICP 380

    Discharge 陽極

    射頻 RFICP

    離子束流

    >1500 mA

    離子動能

    100-1200 V

    柵極直徑

    30 cm Φ

    離子束

    聚焦

    流量

    15-50 sccm

    通氣

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型壓力

    < 0.5m Torr

    長度

    39 cm

    直徑

    59 cm

    中和器

    LFN 2000

     

    推薦理由:

    聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染

     

    運行結果:

    1. 結果表面, 采用鍍膜鉆頭, 可以明顯增加鉆孔孔限, 減少披鋒, 節約成本;
    2. 采用鍍膜銑刀進行銑邊及成型加工時, 有利于減少產品的披鋒、毛刺及銑刀斷刀, 提高生產效率及節約成本
     
    伯東是德國 Pfeiffer 真空泵檢漏儀質譜儀真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.

     

     

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