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    SIGMA KOKI壓電輔助平臺TADC-602WSPA
    發布者:scienar  發布時間:2022-12-06 16:49:08  訪問次數:

    產品名稱:SIGMA KOKI壓電輔助平臺TADC-602WSPA

    產品型號:TADC-602WSPA

    產品介紹

     

    XY 軸載物臺,通過在手動載物臺上添加壓電輔助機構,可以進行 20nm 或更小的微調。 非常適合需要高分辨率位置調整的手動平臺單元和系統。可提供 25x25、40x40、60x60mm 的載物臺尺寸。

    注:

    安裝載物臺時,請注意不要讓千分尺支架受到震動。 否則,壓電輔助機構可能會損壞。

    壓電輔助專用控制器(PASC)的電源關閉時,壓電輔助的位置調整將改變,微調位置將移動。

     

    性能特點

     

    l 壓電輔助平臺的專用控制器無需任何設置即可輕松進行微調。

    l 表盤式旋鈕的微調即使與測微頭結合使用也可以毫無阻力地使用。

    使用壓電輔助控制器(PASC)調整微調機構。壓電輔助平臺隨附一根壓電輔助控制器連接電纜 (2m)。

     

    技術參數

     

    載物臺尺寸 [mm]:60×60

    行程軸:XY 軸

    粗調行程 [mm]:±6.5

    精細驅動行程 [μm]:>30μm

    千分尺位置:側面

    行程/旋轉 [mm] :0.5

    千分尺可讀分辨率 [mm] :0.01

    壓電分辨率:<20nm

    導向方式:延伸接觸球軸承導向

    主要材料:鋁

    涂層:黑色陽極氧化

    負載能力 [N] :49(5kgf)

    行程精度/直線度 [μm] :3

    力矩容量max.:

    間距 [N?m] 4.9

    滾動 [N?m] 4.9

    偏航 [N?m] 4.9

    力矩剛度

    間距 [″/N·cm] :0.6

    滾動 [″/N?cm] 0.6

    平行度 [μm] :50

    正交性 [μm] :10

    運行平行度 [μm] :20

    重量 [kg] :0.5

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