旋片式真空泵是容積泵,它借助于旋片在泵腔中連續(xù)運轉(zhuǎn)將氣體吸入并壓縮,由排氣口排出。泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片等組成,轉(zhuǎn)子被偏心地裝入定子腔內(nèi)。轉(zhuǎn)子槽中有兩塊旋片,旋片彈簧置于兩旋片之間。定子上進、排氣口被轉(zhuǎn)子和旋片分離為兩部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時,旋片在彈簧張力與本身離心力共同下其端部緊貼于泵腔內(nèi)壁滑動,周期性地將進氣口側(cè)腔內(nèi)容積擴大而吸入氣體,同時逐漸縮小排氣口容積,將已吸入氣體壓縮,然后從排氣口排出從而抽氣目。