BRENDA系列配備了內部開發的高性能數字MFC“ DF200系列”,可以生產出具有更精確氣體混合比的混合氣體。
除了通過采用觸摸面板簡化流速和濃度設置外,還添加了各種功能,例如VNC服務器和數據記錄。
?氣體管線:2-4條管線
?流量范圍:10 sccm至50 SLM / 1條管線
(混合氣體流量必須等于或小于100 SLM)
?適用氣體:空氣N2 O2 He Ar CO2 H2其他
?管道連接:Rc1 / 4
?電源: AC100-240V1φ
?尺寸BR-2C 380 * 390 * 330 BR-3C,4C 480 * 390 * 330