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2003年，國家教育部、科技部批準清華大學、北京大學、復旦大學、浙江大學、西安電子科技大學、上海交通大學、東南大學、華中科技大學 、電子科技大學9所高校為首批國家集成電路人才培養基地的建設單位，其中清華大學、北京大學、復旦大學、浙江大學、西安電子科技大學由科技部撥付專項經費，其余高校經費自行籌措。

2004年8月，教育部又批準北京航空航天大學、西安交通大學、哈爾濱工業大學、同濟大學、華南理工大學和西北工業大學六所高校為國家集成電路人才培養基地的建設單位；2009年6月教育部再次批準了北京工業大學、大連理工大學、天津大學、中山大學、福州大學等五所高校為三批國家集成電路人才培養基地的建設單位，國家集成電路人才培養基地的布局已初步完成。

2015年，北京大學、清華大學、中國科學院大學、復旦大學、上海交通大學、東南大學、浙江大學、電子科技大學、西安電子科技大學9所高校被列入支持建設示范性微電子學院的高校名單；北京航空航天大學、北京理工大學、北京工業大學、天津大學、大連理工大學、同濟大學、南京大學、中國科學技術大學、合肥工業大學、福州大學、山東大學、華中科技大學、國防科學技術大學、中山大學、華南理工大學、西安交通大學、西北工業大學17所高校被列入籌備建設示范性微電子學院的高校名單。