性能參數：
抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
8300/10000 l/min
500/600 m3/h
294/353 CFM
極限壓力(Ultimate Pressure)
≤7.5x10-4 Torr
≤1.0x10-3 mbar
≤1.0 Pa
水冷密封馬達(Canned Motor)
頻率 Frequency
50/60 Hz
電壓Voltage
220~440 V
額定功率Rated Power
4.0+4.0/2.98+2.98 HP/Kw
連接口(Connection)
進氣口 Inlet
ISO100(bolted)
排氣口 Outlet
NW40
冷卻水 Cooling Water
壓力 Pressure
2.0~4.0 kg/cm2
流量 Min. Flow
3L/min 15℃
溫度 Temp.
7L/min 30℃
接頭 Connection
RC3/8"
氮氣 N2
壓力 Pressure
0.15~0.2 Mpa
稀釋流量 Dilute Flow
0~60 L/min
密封流量 Sealing Flow
0~20 L/min
接頭 Connection
Swagelok 1/4"
尺寸 Dimension
長x寬x高
814x380x915 mm
重量 Weight
450 Kg
噪音 Noise
<70 dB(A)
控制介面 Control
SEMI E73-0299
系統最大漏率 System Max. Leak-rate
1.0/10-5 mbar.l/s
室溫操作范圍 Operation Temp.
5℃~40℃
操作濕度 Operation Moisture
90%以下
性能曲線圖：
裝尺寸圖：
性能參數：
抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
17500/21000 l/min
1050/1260 m3/h
618/742 CFM
極限壓力(Ultimate Pressure)
≤7.5x10-4 Torr
≤1.0x10-3 mbar
≤1.0 Pa
水冷密封馬達(Canned Motor)
頻率 Frequency
50/60 Hz
電壓Voltage
220~440 V
額定功率Rated Power
6+6/4.47+4.47 HP/Kw
連接口(Connection)
進氣口 Inlet
ISO160(bolted)
排氣口 Outlet
NW40
冷卻水 Cooling Water
壓力 Pressure
2.0~4.0 kg/cm2
流量 Min. Flow
3L/min 15℃
溫度 Temp.
7L/min 30℃
接頭 Connection
RC3/8"
氮氣 N2
壓力 Pressure
0.15~0.2 Mpa
稀釋流量 Dilute Flow
0~60 L/min
密封流量 Sealing Flow
0~20 L/min
接頭 Connection
Swagelok 1/4"
尺寸 Dimension
長x寬x高
920x430x957 mm
重量 Weight
540 Kg
噪音 Noise
<70 dB(A)
控制介面 Control
SEMI E73-0299
系統最大漏率 System Max. Leak-rate
1.0/10-5 mbar.l/s
室溫操作范圍 Operation Temp.
5℃~40℃
操作濕度 Operation Moisture
90%以下
性能曲線圖：
裝尺寸圖：
性能參數：
抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
2150/2600 l/min
130/156 m3/h
77/92 CFM
極限壓力(Ultimate Pressure)
≤7.5x10-3 Torr
≤1.0x10-2 mbar
≤1.0 Pa
水冷密封馬達(Canned Motor)
頻率 Frequency
50/60 Hz
電壓Voltage
220~440 V
額定功率Rated Power
6/4.47 HP/Kw
連接口(Connection)
進氣口 Inlet
NW50
排氣口 Outlet
NW40
冷卻水 Cooling Water
壓力 Pressure
2.0~4.0 kg/cm2
流量 Min. Flow
3L/min 15℃
溫度 Temp.
7L/min 30℃
接頭 Connection
RC3/8"
氮氣 N2
壓力 Pressure
0.15~0.2 Mpa
稀釋流量 Dilute Flow
0~60 L/min
密封流量 Sealing Flow
0~20 L/min
接頭 Connection
Swagelok 1/4"
尺寸 Dimension
長x寬x高
895x410x678 mm
重量 Weight
300 Kg
噪音 Noise
<70 dB(A)
控制介面 Control
SEMI E73-0299
系統最大漏率 System Max. Leak-rate
1.0/10-5 mbar.l/s
室溫操作范圍 Operation Temp.
5℃~40℃
操作濕度 Operation Moisture
90%以下
性能曲線圖：
裝尺寸圖：
性能參數：
抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
2500/3000 l/min
150/180 m3/h
88/106 CFM
極限壓力(Ultimate Pressure)
≤7.5x10-3 Torr
≤1.0x10-2 mbar
≤1.0 Pa
水冷密封馬達(Canned Motor)
頻率 Frequency
50/60 Hz
電壓Voltage
220~440 V
額定功率Rated Power
6/4.47 HP/Kw
連接口(Connection)
進氣口 Inlet
NW50
排氣口 Outlet
NW40
冷卻水 Cooling Water
壓力 Pressure
2.0~4.0 kg/cm2
流量 Min. Flow
3L/min 15℃
溫度 Temp.
7L/min 30℃
接頭 Connection
RC3/8"
氮氣 N2
壓力 Pressure
0.15~0.2 Mpa
稀釋流量 Dilute Flow
0~60 L/min
密封流量 Sealing Flow
0~20 L/min
接頭 Connection
Swagelok 1/4"
尺寸 Dimension
長x寬x高
920x430x650 mm
重量 Weight
320 Kg
噪音 Noise
<70 dB(A)
控制介面 Control
SEMI E73-0299
系統最大漏率 System Max. Leak-rate
1.0/10-5 mbar.l/s
室溫操作范圍 Operation Temp.
5℃~40℃
操作濕度 Operation Moisture
90%以下
性能曲線圖：
裝尺寸圖：
性能參數：
抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
1300/1600 l/min
80/96 m3/h
47/57 CFM
極限壓力(Ultimate Pressure)
≤7.5x10-3 Torr
≤1.0x10-2 mbar
≤1.0 Pa
水冷密封馬達(Canned Motor)
頻率 Frequency
50/60 Hz
電壓Voltage
220~440 V
額定功率Rated Power
4/2.98 HP/Kw
連接口(Connection)
進氣口 Inlet
NW50
排氣口 Outlet
NW40
冷卻水 Cooling Water
壓力 Pressure
2.0~4.0 kg/cm2
流量 Min. Flow
3L/min 15℃
溫度 Temp.
7L/min 30℃
接頭 Connection
RC3/8"
氮氣 N2
壓力 Pressure
0.15~0.2 Mpa
稀釋流量 Dilute Flow
0~60 L/min
密封流量 Sealing Flow
0~20 L/min
接頭 Connection
Swagelok 1/4"
尺寸 Dimension
長x寬x高
814x380x663 mm
重量 Weight
280 Kg
噪音 Noise
<68 dB(A)
控制介面 Control
SEMI E73-0299
系統最大漏率 System Max. Leak-rate
1.0/10-5 mbar.l/s
室溫操作范圍 Operation Temp.
5℃~40℃
操作濕度 Operation Moisture
90%以下
性能曲線圖：
裝尺寸圖：
