產品簡介:
性能參數：
抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz)
1300/1600 l/min
80/96 m3/h
47/57 CFM
極限壓力(Ultimate Pressure)
≤7.5x10-3 Torr
≤1.0x10-2 mbar
≤1.0 Pa
水冷密封馬達(Canned Motor)
頻率 Frequency
50/60 Hz
電壓Voltage
220~440 V
額定功率Rated Power
4/2.98 HP/Kw
連接口(Connection)
進氣口 Inlet
NW50
排氣口 Outlet
NW40
冷卻水 Cooling Water
壓力 Pressure
2.0~4.0 kg/cm2
流量 Min. Flow
3L/min 15℃
溫度 Temp.
7L/min 30℃
接頭 Connection
RC3/8"
氮氣 N2
壓力 Pressure
0.15~0.2 Mpa
稀釋流量 Dilute Flow
0~60 L/min
密封流量 Sealin
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| 型號:JX213601RSE1302干式螺桿真空泵 | 型號:JX213597RSE1802干式螺桿真空泵 | 型號:JX213603RSE80干式螺桿真空泵 |
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抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) |
17500/21000 l/min | |
| 1050/1260 m3/h | ||
| 618/742 CFM | ||
| 極限壓力(Ultimate Pressure) | ≤7.5x10-4 Torr | |
| ≤1.0x10-3 mbar | ||
| ≤1.0 Pa | ||
| 水冷密封馬達(Canned Motor) | 頻率 Frequency | 50/60 Hz |
| 電壓Voltage | 220~440 V | |
| 額定功率Rated Power | 6+6/4.47+4.47 HP/Kw | |
| 連接口(Connection) | 進氣口 Inlet | ISO160(bolted) |
| 排氣口 Outlet | NW40 | |
| 冷卻水 Cooling Water | 壓力 Pressure | 2.0~4.0 kg/cm2 |
| 流量 Min. Flow | 3L/min 15℃ | |
| 溫度 Temp. | 7L/min 30℃ | |
| 接頭 Connection | RC3/8" | |
| 氮氣 N2 | 壓力 Pressure | 0.15~0.2 Mpa |
| 稀釋流量 Dilute Flow | 0~60 L/min | |
| 密封流量 Sealing Flow | 0~20 L/min | |
| 接頭 Connection | Swagelok 1/4" | |
| 尺寸 Dimension | 長x寬x高 | 920x430x957 mm |
| 重量 Weight | 540 Kg | |
| 噪音 Noise | 70 dB(A) | |
| 控制介面 Control | SEMI E73-0299 | |
| 系統漏率 System Max. Leak-rate | 1.0/10-5 mbar.l/s | |
| 室溫操作范圍 Operation Temp. | 5℃~40℃ | |
| 操作濕度 Operation Moisture | 90%以下 | |
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抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) |
25000/30000 l/min | |
| 1500/1800 m3/h | ||
| 883/1060 CFM | ||
| 極限壓力(Ultimate Pressure) | ≤7.5x10-4 Torr | |
| ≤1.0x10-3 mbar | ||
| ≤1.0 Pa | ||
| 水冷密封馬達(Canned Motor) | 頻率 Frequency | 50/60 Hz |
| 電壓Voltage | 220~440 V | |
| 額定功率Rated Power | 6+6/4.47+4.47 HP/Kw | |
| 連接口(Connection) | 進氣口 Inlet | ISO160(bolted) |
| 排氣口 Outlet | NW40 | |
| 冷卻水 Cooling Water | 壓力 Pressure | 2.0~4.0 kg/cm2 |
| 流量 Min. Flow | 3L/min 15℃ | |
| 溫度 Temp. | 7L/min 30℃ | |
| 接頭 Connection | RC3/8" | |
| 氮氣 N2 | 壓力 Pressure | 0.15~0.2 Mpa |
| 稀釋流量 Dilute Flow | 0~60 L/min | |
| 密封流量 Sealing Flow | 0~20 L/min | |
| 接頭 Connection | Swagelok 1/4" | |
| 尺寸 Dimension | 長x寬x高 | 920x430x1030 mm |
| 重量 Weight | 545 Kg | |
| 噪音 Noise | 70 dB(A) | |
| 控制介面 Control | SEMI E73-0299 | |
| 系統漏率 System Max. Leak-rate | 1.0/10-5 mbar.l/s | |
| 室溫操作范圍 Operation Temp. | 5℃~40℃ | |
| 操作濕度 Operation Moisture | 90%以下 | |
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抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) |
1300/1600 l/min | |
| 80/96 m3/h | ||
| 47/57 CFM | ||
| 極限壓力(Ultimate Pressure) | ≤7.5x10-3 Torr | |
| ≤1.0x10-2 mbar | ||
| ≤1.0 Pa | ||
| 水冷密封馬達(Canned Motor) | 頻率 Frequency | 50/60 Hz |
| 電壓Voltage | 220~440 V | |
| 額定功率Rated Power | 4/2.98 HP/Kw | |
| 連接口(Connection) | 進氣口 Inlet | NW50 |
| 排氣口 Outlet | NW40 | |
| 冷卻水 Cooling Water | 壓力 Pressure | 2.0~4.0 kg/cm2 |
| 流量 Min. Flow | 3L/min 15℃ | |
| 溫度 Temp. | 7L/min 30℃ | |
| 接頭 Connection | RC3/8" | |
| 氮氣 N2 | 壓力 Pressure | 0.15~0.2 Mpa |
| 稀釋流量 Dilute Flow | 0~60 L/min | |
| 密封流量 Sealing Flow | 0~20 L/min | |
| 接頭 Connection | Swagelok 1/4" | |
| 尺寸 Dimension | 長x寬x高 | 814x380x663 mm |
| 重量 Weight | 280 Kg | |
| 噪音 Noise | 68 dB(A) | |
| 控制介面 Control | SEMI E73-0299 | |
| 系統漏率 System Max. Leak-rate | 1.0/10-5 mbar.l/s | |
| 室溫操作范圍 Operation Temp. | 5℃~40℃ | |
| 操作濕度 Operation Moisture | 90%以下 | |
